[发明专利]一种用于氧化物材料体系的蚀刻液及其蚀刻方法和应用有效
| 申请号： | 201410191479.1 | 申请日： | 2014-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN103980905B | 公开（公告）日： | 2017-04-05 |
| 发明（设计）人： | 范冰丰;王钢;童存声 | 申请（专利权）人： | 佛山市中山大学研究院 |
| 主分类号： | C09K13/06 | 分类号： | C09K13/06;C09K13/00;C09K13/12;H01B13/00 |
| 代理公司： | 深圳市惠邦知识产权代理事务所44271 | 代理人： | 孙菊梅 |
| 地址： | 528200 广东省佛山市*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种用于氧化物材料体系的蚀刻液，该蚀刻液包括氧化物蚀刻溶液、起到稠度调节作用的调节剂以及水；同时本发明还公开了上述蚀刻液的蚀刻方法及应用。本发明公开的蚀刻液和蚀刻方法可普遍适用于Sn、Zn、Al、Ga、In基及其合金氧化物薄膜材料刻蚀，尤其是ZnO、AZO、GZO、IGZO、IZO等氧化物材料的刻蚀，也可广泛的用于制备精细电子部件中氧化物材料的刻蚀，例如半导体光电器件、太阳能电池、TFT薄膜晶体管、半导体集成电路和透明电极等。本发明的蚀刻液相较于传统的刻蚀液，其具有抑制侧蚀、防止刻蚀不均以及防止刻蚀残留的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 氧化物 材料 体系 蚀刻 及其 方法 应用 | ||
【主权项】：
一种用于氧化物材料体系的蚀刻液，其特征在于：以重量计，所述蚀刻液中含有，0.01‑80wt％的磷酸盐溶液；0.1‑80wt％的聚乙二醇调节剂；余量的水。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于佛山市中山大学研究院，未经佛山市中山大学研究院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201410191479.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种炉灶燃烧器
- 下一篇：一种用于粉体表面改性机上的除尘器
