[发明专利]一种用于氧化物材料体系的蚀刻液及其蚀刻方法和应用

权利要求书

1.一种用于氧化物材料体系的新型蚀刻液，其特征在于：包括氧化物蚀刻溶液、起到稠度调节作用的调节剂以及水。

2.如权利要求1所述用于氧化物材料体系的新型蚀刻液，其特征在于：以重量计，所述新型蚀刻液中含有，

0.01-80wt％的氧化物蚀刻溶液；

0.1-80wt％的调节剂；

余量的水。

3.如权利要求1所述用于氧化物材料体系的新型蚀刻液，其特征在于：所述氧化物材料体系为由锌、铟、镓、铝、锡、镉、铜、锶、钛金属元素构成的二元材料体系、三元材料体系、四元材料体系、多元材料体系、掺杂氧化物材料体系以及由上述材料体系中的两种或两种以上构成的复合材料体系，其中，

所述二元材料体系的化学式可表示为A_xO_y，其中x>0、y>0，A为上述各种金属元素中任意一种，O为氧元素；

所述三元材料体系的化学式可表示为A_xB_yO_z，其中x>0、y>0、z>0，A和B分别为上述各种金属元素中任意一种，O为氧元素；

所述四元材料体系的化学式可表示为A_xB_yC_zO_m，其中x>0、y>0、z>0、m>0，A、B和C分别为上述各种金属元素中任意一种，O为氧元素；

所述多元材料体系为含有四种以上上述提到的金属元素的氧化物；

所述掺杂氧化物材料体系是在上述二元、三元、四元或多元材料体系中掺入第III族元素或掺入第IV族元素或掺入第七主族元素或掺入稀土元素或掺入F^-替代上述材料中O^2-。

4.如权利要求3所述用于氧化物材料体系的新型蚀刻液，其特征在于：所述二元材料体系为氧化锌、氧化锡、氧化镓、氧化铟、氧化镉、氧化铝；所述三元材料体系为钛酸锶、锡酸镉、铟酸镉；所述四元材料体系为铟镓锌氧化合物；所述掺杂元素为第III族元素中的硼、铝、镓、铟和锶，或第IV族元素中的硅、锗、锡、铅、钛、镐和铪，或第七主族元素中的氟、氯，或掺入稀土元素中的锶、钇。

5.如权利要求3所述用于氧化物材料体系的新型蚀刻液，其特征在于：所述掺杂氧化物材料体系为ZnO:In、ZnO:Al、ZnO:Ga、ZnO:Sn、ZnO:F、ZnO:B、SnO₂:Sb、SnO₂:F、SnO₂:Al、SnO₂:Ga、SnO₂:In、In₂O₃:Sn、In₂O₃:Al、In₂O₃:Ga。

6.如权利要求1所述用于氧化物材料体系的新型蚀刻液，其特征在于：所述氧化物蚀刻溶液为无机酸溶液及其酸式盐溶液、有机酸溶液及其铵盐聚磺酸化合物和水碱溶液、碱溶液、盐溶液、双氧水溶液中任意一种，以及将上述氧化物蚀刻溶液任意混合而不会产生新的物质而构成的组合蚀刻液，以及异丙醇添加到磷酸溶液中形成的组合蚀刻液。

7.如权利要求6所述用于氧化物材料体系的新型蚀刻液，其特征在于：所述无机酸溶液为王水、硫酸、盐酸、硝酸、氢碘酸、高氯酸、磷酸、草酸、醋酸、碳酸、氢硫酸、硼酸中任意一种；所述有机酸溶液为有机羧酸化合物、乙酸、丙酸、丁酸、琥珀酸、柠檬酸、乳酸、苹果酸、酒石酸、丙二酸、马来酸、戊二酸、乌头酸、1，2，3-丙烷三羧酸中任意一种；所述碱溶液为氨水；所述盐溶液为上述无机酸、有机酸和碱溶液反应后形成的各种盐溶液。

8.如权利要求6所述用于氧化物材料体系的新型蚀刻液，其特征在于：所述氧化物蚀刻溶液为硫酸氨、硝酸氨、磷酸氨、氯化物弱酸盐、四甲基氢氧化铵、磷酸盐类化合物、草酸类化合物、氯化铁、氯化铵、三氯化铁。

9.如权利要求1所述用于氧化物材料体系的新型蚀刻液，其特征在于：所述调节剂为聚乙二醇、甲氧基聚乙二醇、聚丙二醇、聚乙烯醇、胶体二氧化硅、羚甲基纤维素、羚甲基纤维素钠、水凝胶、海藻酸钠、液状石蜡、凡士林、植物油中一种或几种混合物。