[发明专利]转台装置

摘要

本发明提供一种转台装置。将转台装置的壳体内隔成第一空间与第二空间，在稳定状态下，将第一空间的压力调整为比第二空间的压力更高的压力，从而在任意的时刻，使压力的高低关系逆转，使第二空间的压力成为比第一空间的压力更高的压力。由此，能够定期地强制关闭设置于第一空间与第二空间之间的止回阀，从而防止止回阀动作不良。

主权项

一种转台装置，其具有：壳体；收纳于该壳体的马达；固定于该马达的输出轴的一端的工作台；从所述壳体的内部向外部排出气体的排出口；以及压力调整单元，所述转台装置的特征在于，在所述壳体内具备：被间隔部件隔开而形成的第一空间、第二空间；向所述第一空间供给气体的第一气体供给路；向所述第二空间供给气体的第二气体供给路；以及设置于所述间隔部件的止回阀，所述排出口从所述第二空间向所述壳体的外部排出气体，所述压力调整单元构成为，始终将所述第一空间的压力以及所述第二空间的压力调整为比外部空气压更高的压力，并且，在稳定状态下，将所述第一空间的压力调整为比第二空间的压力更高的压力，但是在任意的时刻，将所述第二空间的压力调整为比所述第一空间的压力高的压力。