[发明专利]转台装置

权利要求书

1.一种转台装置，其具有：壳体；收纳于该壳体的马达；固定于该马达的输出轴的一端的工作台；从所述壳体的内部向外部排出气体的排出口；以及压力调整单元，

所述转台装置的特征在于，

在所述壳体内具备：

被间隔部件隔开而形成的第一空间、第二空间；

向所述第一空间供给气体的第一气体供给路；

向所述第二空间供给气体的第二气体供给路；以及

设置于所述间隔部件的止回阀，

所述排出口从所述第二空间向所述壳体的外部排出气体，

所述压力调整单元构成为，始终将所述第一空间的压力以及所述第二空间的压力调整为比外部空气压更高的压力，并且，在稳定状态下，将所述第一空间的压力调整为比第二空间的压力更高的压力，但是在任意的时刻，将所述第二空间的压力调整为比所述第一空间的压力高的压力。

2.根据权利要求1所述的转台装置，其特征在于，进一步，

具备向所述第一空间以及所述第二空间供给气体的单一的气体供给源，

在所述第一气体供给路具备用于使所述第一空间的压力相对于来自所述气体供给源的气体供给压力而下降的调整阀。

3.根据权利要求1所述的转台装置，其特征在于，进一步，

具备向所述第一空间以及所述第二空间供给气体的单一的气体供给源，另外，

在所述第一气体供给路具备用于使所述第一空间的压力相对于来自所述气体供给源的气体供给压力而下降的第一调整阀，

在所述第二气体供给路具备用于使所述第二空间的压力相对于来自所述气体供给源的气体供给压力而下降的第二调整阀。

4.根据权利要求1所述的转台装置，其特征在于，进一步，

具备：

向所述第一空间供给气体的第一气体供给源；以及

向所述第二空间供给气体的第二气体供给源，

所述压力调整单元构成为对所述第一空间的压力与所述第二空间的压力进行控制。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的转台装置，其特征在于，进一步，

具备通过供给气体来进行动作从而对所述工作台进行夹紧的夹紧机构，

通过所述第二气体供给路向所述夹紧机构供给气体。

6.根据权利要求5所述的转台装置，其特征在于，进一步，

在所述第二气体供给路设置电磁阀，

通过所述电磁阀向所述夹紧机构供给气体，从而对所述第一空间以及第二空间的压力进行调整。