[发明专利]高制作容差的平面波导型可调光衰减器有效
| 申请号： | 201410177223.5 | 申请日： | 2014-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN103941427B | 公开（公告）日： | 2017-08-04 |
| 发明（设计）人： | 任梅珍;张家顺;安俊明;王亮亮;王超逸;张春威;刘尚鑫 | 申请（专利权）人： | 河南仕佳光子科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/01 | 分类号： | G02F1/01 |
| 代理公司： | 郑州优盾知识产权代理有限公司41125 | 代理人： | 张绍琳,孙诗雨 |
| 地址： | 458030 河南省鹤壁市淇滨区国*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高制作容差的平面波导型可调光衰减器，包括第一耦合器，第一耦合器的输入端与输入波导连接，第一耦合器的两个输出端分别与上臂支路和下臂支路的前端连接，第二耦合器的两个输入端分别与上臂支路和下臂支路的后端连接，第二耦合器的输出端与输出波导连接，所述上臂支路和/或下臂支路上设有金属薄膜加热器，金属薄膜加热器位于隔离沟槽之间，本发明中第一耦合器和第二耦合器采用不对称的耦合器，同时使第二耦合器的耦合比与第一耦合器的耦合比相等，这种结构使当上臂支路或下臂支路的折射率变化时，第二耦合器的其中一个输出波导的衰减可满足大于30 dB的设计要求，该结构在工艺误差高达±0.1um时，仍可使衰减量大于30dB，提高了器件的制作容差。 | ||
| 搜索关键词： | 制作 平面 波导 调光 衰减器 | ||
【主权项】：
一种高制作容差的平面波导型可调光衰减器，包括第一耦合器（2），第一耦合器（2）的输入端与输入波导连接，第一耦合器（2）的两个输出端分别与上臂支路（3‑1）和下臂支路（3‑2）的前端连接，第二耦合器（4）的两个输入端分别与上臂支路（3‑1）和下臂支路（3‑2）的后端连接，第二耦合器（4）的输出端与输出波导连接，所述上臂支路（3‑1）和 / 或下臂支路（3‑2）上设有金属薄膜加热器（6），金属薄膜加热器（6）位于隔离沟槽（7）之间，其特征在于：所述第一耦合器（2）和第二耦合器（4）耦合比相同且均为不对称的耦合器，使可调光衰减器在制作工艺偏差高达 ±0.1um 的情况下仍能达到较高的调制深度；使衰减量大于30dB；所述不对称的耦合器的耦合比为m:n，其中，m≠n，且m，n均不为0；耦合比m:n为6:4。
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