[发明专利]一种碱性显像型感光树脂组合物及其制备方法

摘要

本发明涉及一种碱性显像型感光树脂组合物，其特征在于它包括如下重量百分比的组份(1)、快干型含羧基的感光性树脂20～35；(2)、快干型丙烯酸酯聚合物5～25；(3)、分子中含有2个以上烯属不饱和基的化合物的组合物5～15；(4)、光引发剂组合物3～10；(5)、填料35～50。本发明还涉及该碱性显像型感光树脂组合物的制备方法。本发明具有的优点为可形成的涂膜的指触干燥性（不粘手性）好以及在低能量下可取得优异感光性和解析度，从而可满足高精密度线路蚀刻的要求。

主权项

一种碱性显像型感光树脂组合物，其特征在于它包括如下重量百分比的组份：(1)、快干型含羧基的感光性树脂 20～35(2)、快干型丙烯酸酯聚合物 5～25(3)、分子中含有2个以上烯属不饱和基的化合物的组合物 5～15(4)、光引发剂组合物 3～10(5)、填料35～50其中快干型含羧基的感光性树脂的酸价为40～150mg KOH/g，固含量为40～70wt%，平均分子量为8000～15000，快干型含羧基的感光性树脂由如下步骤制备：(A)、在有机溶剂中加入分子中具有2个以上环状醚基的化合物（a），再加入不饱和单羧酸（b）与催化剂，在100～160℃下反应8～36小时得反应产物（c）；其中分子中具有2个以上环状醚基的化合物（a）为邻甲酚酚醛环氧树脂、苯酚酚醛环氧树脂、双酚F型环氧树脂、双酚S型环氧树脂或联苯酚型环氧树脂；不饱和单羧酸（b）为丙烯酸或甲基丙烯酸；不饱和单羧酸（b）的加入量与分子中具有2个以上环状醚基的化合物（a）的重量比为1：2～1：5；催化剂为三乙基膦、三丁基膦或三苯基膦；催化剂的使用量为分子中具有2个以上环状醚基的化合物（a）的重量的0.2～5.0％；有机溶剂为丙二醇甲醚醋酸酯，其使用量为分子中具有2个以上环状醚基的化合物（a）的重量的0.5～3倍；(B)、在步骤(A)中制得的反应产物（c）中分别加入阻聚剂与饱和或不饱和多元酸酐（d）后在80～150℃下反应6～12小时得反应产物（e）；饱和或不饱和多元酸酐（d）为马来酸酐、邻苯二甲酸酐、琥珀酸酐、四氢苯酐或四氢邻苯二甲酸酐；其加入量与分子中具有2个以上环状醚基的化合物（a）的重量比为1：1～1：3；阻聚剂为对苯二酚、对羟基苯甲醚或甲氧基苯酚；阻聚剂的使用量为分子中具有2个以上环状醚基的化合物（a）的重量的0.05～1.0％；(C)、步骤(B)中制得的反应产物（e）中分别加入阻聚剂与分子中具有烯属不饱和基和环状醚基的化合物（f）后在80～150℃反应6～12小时即为成品快干型含羧基的感光性树脂；分子中具有烯属不饱和基和环状醚基的化合物（f）为甲基丙烯酸缩水甘油酯或丙烯酸4‑羟丁酯缩水甘油醚，其加入量与分子中具有2个以上环状醚基的化合物（a）的重量比为1：2～1：5；阻聚剂为对苯二酚、对羟基苯甲醚或甲氧基苯酚；阻聚剂的使用量为分子中具有2个以上环状醚基的化合物（a）的重量的0.05～1.0％；快干型丙烯酸酯聚合物的酸价为40～150mg KOH/g，固含量为40～70wt%，平均分子量为5000～10000；快干型丙烯酸酯聚合物由下述方法制备，在有机溶剂(Ⅰ)中加入不饱和单羧酸(b’)，再加入分子中含有单个烯属不饱和基的丙烯酸酯（a’）与偶氮类引发剂（c’），然后在80～160℃反应8～24小时即得成品快干型丙烯酸酯聚合物；在上述快干型丙烯酸酯聚合物的制备方法中，不饱和单羧酸（b’）为丙烯酸或甲基丙烯酸；有机溶剂(Ⅰ)为丙二醇甲醚醋酸酯或丙二醇单甲醚有机溶剂，有机溶剂(Ⅰ)的加入量与不饱和单羧酸(b’)的重量比为2：1～8：1；分子中含有单个烯属不饱和基的丙烯酸酯（a’）为甲基丙烯酸甲酯与丙烯酸丁酯、甲基丙烯酸苄基酯、丙烯酸异辛酯或甲基丙烯酸羟乙酯的混合物；甲基丙烯酸甲酯在分子中含有单个烯属不饱和基的丙烯酸酯（a’）中的重量百分比为30～70；分子中含有单个烯属不饱和基的丙烯酸酯（a’）的加入量为与不饱和单羧酸（b’）的重量比为2:1～5:1；偶氮类引发剂（c’）为油溶性的偶氮类引发剂，具体为偶氮二异丁腈或偶氮二异庚腈；偶氮类引发剂（c’）的加入量为不饱和单羧酸（b’）的重量的1～20％；分子中含有2个以上烯属不饱和基的化合物的组合物为三羟甲基丙烷三丙烯酸酯与二季戊四醇六丙烯酸酯的组合物，三羟甲基丙烷三丙烯酸酯与二季戊四醇六丙烯酸酯的重量百分比为1:1～1:2；光引发剂组合物为如下重量百分比的组份：四乙基米氏酮 1～5双2,6‑二氟‑3‑吡咯苯基二茂钛 0.5～1.52‑异丙基硫杂蒽酮 15～252‑甲基‑1‑[4‑(甲基硫代)苯基]‑2‑(4‑吗啉基)‑1‑丙酮 70～80填料为如下重量百分比的组份：二氧化硅 1～5高岭土 3～10滑石粉 85～95；二氧化硅的平均粒径为4～8μm；高岭土的平均粒径为4～8μm；滑石粉的平均粒径为3～8μm。