[发明专利]一种静电式振动能量收集器及其制作方法有效
| 申请号： | 201410164513.6 | 申请日： | 2014-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN103904932A | 公开（公告）日： | 2014-07-02 |
| 发明（设计）人： | 黄晓东;黄见秋;蒋明霞 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | H02N1/06 | 分类号： | H02N1/06 |
| 代理公司： | 江苏永衡昭辉律师事务所 32250 | 代理人： | 王斌 |
| 地址： | 214000 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种静电式振动能量收集器及其制作方法，采用在电荷陷阱型非易失性存储器结构(10)上表面通过支撑结构(21)设置盖板(22)构成腔体，在腔体内设置有可动金属电极(23)，可动金属电极（23）能够在电荷陷阱型非易失性存储器结构(10)表面运动，储存在电荷陷阱型非易失性存储器结构中的电荷极化可动金属电极。本发明提供的静电式振动能量收集器无需外加电源，设计和结构简单，具有高的能量采集效率，与CMOS工艺兼容，易于微型化，可靠性高，并能应用于高温、高湿等恶劣环境。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 静电 振动 能量 收集 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种静电式振动能量收集器，包括电荷陷阱型非易失性存储器结构(10)，所述的电荷陷阱型非易失性存储器结构(10)包括从下往上依次设置的衬底(11)、隧穿层(12)、存储层(13)、阻挡层(14)；其特征在于，所述存储层(13)包括交替分布的电荷存储区域(131)和无电荷存储区域(132)；在所述电荷陷阱型非易失性存储器结构(10) 上表面通过支撑结构(21)设置盖板(22)；所述电荷陷阱型非易失性存储器结构(10)、支撑结构(21)及盖板(22)构成腔体，在所述腔体内设置有可动金属电极(23)，所述可动金属电极(23)能够在所述电荷陷阱型非易失性存储器结构(10)表面运动，所述腔体内形成与所述电荷存储区域(131)对应的极化区，和与所述无电荷存储区域(132)对应的非极化区。
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