[发明专利]电阻触发式真空弧离子源装置有效
| 申请号： | 201410156712.2 | 申请日： | 2014-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN103915305A | 公开（公告）日： | 2014-07-09 |
| 发明（设计）人： | 彭宇飞;蓝朝晖;龙继东;杨振;郑乐;董攀;李杰;何佳龙;王韬 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院流体物理研究所 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08 |
| 代理公司： | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人： | 谢敏 |
| 地址： | 621000*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电阻触发式真空弧离子源装置，包括阳极（1）、阴极（2）、触发极（3）、阴极-触发极绝缘件（4）、触发电阻（5）以及连接在阴极（2）下端的阴极固定导电接头（6），上述阳极（1）由中空圆筒状的阳极支撑体（11）和连接在阳极支撑体（11）上端的环形阳极（12）构成，上述触发电阻（5）、触发极（3）、阴极-触发极绝缘件（4）和阴极（2）从外至内依次设置在阳极支撑体（11）内。本发明的触发电阻内置在真空弧离子源装置内，结构紧凑、体积小、节省安装空间，并且保证了电接触和绝缘可靠性，并能有效改善分布参数。 | ||
| 搜索关键词： | 电阻 触发 真空 离子源 装置 | ||
【主权项】：
电阻触发式真空弧离子源装置，包括阳极（1）、阴极（2）、触发极（3）、阴极‑触发极绝缘件（4）、触发电阻（5）以及连接在阴极（2）下端的阴极固定导电接头（6），其特征在于，所述阳极（1）由中空圆筒状的阳极支撑体（11）和连接在阳极支撑体（11）上端的环形阳极（12）构成，所述触发电阻（5）、触发极（3）、阴极‑触发极绝缘件（4）和阴极（2）从外至内依次设置在阳极支撑体（11）内。
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