[发明专利]电阻触发式真空弧离子源装置

权利要求书

1.电阻触发式真空弧离子源装置，包括阳极（1）、阴极（2）、触发极（3）、阴极-触发极绝缘件（4）、触发电阻（5）以及连接在阴极（2）下端的阴极固定导电接头（6），其特征在于，所述阳极（1）由中空圆筒状的阳极支撑体（11）和连接在阳极支撑体（11）上端的环形阳极（12）构成，所述触发电阻（5）、触发极（3）、阴极-触发极绝缘件（4）和阴极（2）从外至内依次设置在阳极支撑体（11）内。

2.根据权利要求1所述的电阻触发式真空弧离子源装置，其特征在于，所述阴极（2）和阴极固定导电接头（6）设置在阳极（1）的中心轴线上，所述阴极-触发极绝缘件（4）包覆在阴极（2）和阴极固定导电接头（6）外，且阴极-触发极绝缘件（4）的上端面低于阴极（2）的上端面；所述触发极（3）由包覆在阴极-触发极绝缘件（4）外的触发极支撑体（32）和连接在触发极支撑体（32）上端的环形触发极（31）构成，环形触发极（31）下端面还与阴极-触发极绝缘件（4）上端面相连，且环形触发极（31）的内圆周面与阴极（2）之间设置有间隙；

所述触发电阻（5）为中空圆柱体，其外壁与阳极支撑体（11）的内壁相连；触发电阻（5）的内壁与触发极（3）的外壁相连。

3.根据权利要求2所述的电阻触发式真空弧离子源装置，其特征在于，所述阴极-触发极绝缘件（4）由第一绝缘件（41）和位于第一绝缘件（41）下端的第二绝缘件（42）构成，第一绝缘件（41）和第二绝缘件（42）均呈中空圆柱状，且内径相同、中心轴重合，第一绝缘件（41）外径小于第二绝缘件（42）；所述触发极支撑体（32）的内圆周面与第一绝缘件（41）的外圆周面相连，所述环形触发极（31）连接在第一绝缘件（41）上端；所述触发电阻（5）和触发极（3）的下端面均连接在第二绝缘件（42）的上端面上。

4.根据权利要求3所述的电阻触发式真空弧离子源装置，其特征在于，所述第二绝缘件（42）的内圆周面与阴极固定导电接头（6）相连，外圆周面连接在阳极支撑体（11）的内壁上。

5.根据权利要求2至4任一所述的电阻触发式真空弧离子源装置，其特征在于，所述触发电阻（5）至上而下内径逐渐变大，所述触发极支撑体（32）和环形触发极（31）的外径均自上而下逐渐变大。

6.根据权利要求1至4任一所述的电阻触发式真空弧离子源装置，其特征在于，所述触发电阻（5）的内圆周面和外圆周面上均镀有一层金属膜。

7.根据权利要求6所述的电阻触发式真空弧离子源装置，其特征在于，所述触发电阻（5）为陶瓷电阻。

8.根据权利要求1至4任一所述的电阻触发式真空弧离子源装置，其特征在于，所述触发电阻（5）的阻值不低于10欧姆，不高于500欧姆，且大于主弧电流导通时阴极（2）与阳极（1）之间的等效电阻。