[发明专利]一种多孔铁芯结构微型磁通门传感器

摘要

本发明公开了一种采用多孔铁芯的微型磁通门传感器。硅基底(1)作为衬底支撑层；激励线圈(2)和感应线圈(3)采用三维螺线管结构，由两端通孔(4)连通上下层；铁芯(5)采用软磁材料、多孔结构，铁芯上的孔将铁芯分割形成多组局部变截面积结构；聚酰亚胺(6)作为各层之间的绝缘层；激励线圈对应“无孔”位置，感应线圈对应“有孔”位置，交替缠绕；激励线和感应线圈通过焊盘(7、8)引出。本发明所涉及的微型磁通门传感器能有效降低微型磁通门功耗，提高灵敏度。

主权项

一种微机电系统的采用多孔结构铁芯的磁通门传感器，其特征在于包括衬底、激励线圈、感应线圈、用于连接上下层线圈的通孔、多孔结构的软磁铁芯、聚酰亚胺绝缘和保护层、引线焊盘，多孔结构的软磁铁芯被交替缠绕的三维螺线管结构激励线圈和三维螺线管结构感应线圈包围，作为传感器的主体部分，在垂直铁芯轴向，孔间隔较小密集排列，在沿铁芯轴向，孔间距较大排列，在沿铁芯轴向形成多列“有孔‑无孔”交替结构，将铁芯分割成形成多组局部变截面积结构，激励线圈缠绕在铁芯上相邻两孔之间有完整铁芯的区域，感应线圈缠绕在垂直于铁芯长边的每一列孔所在的位置，铁芯和线圈之间由聚酰亚胺作为绝缘层和保护层，激励线圈和感应线圈分别连接到位于衬底上的焊盘用于引线。