[发明专利]一种多孔铁芯结构微型磁通门传感器

权利要求书

1.一种微机电系统的采用多孔结构铁芯的磁通门传感器，其特征在于包括衬底、激励线圈、感应线圈、用于连接上下层线圈的通孔、多孔结构的软磁铁芯、聚酰亚胺绝缘和保护层、引线焊盘，多孔结构的软磁铁芯被交替缠绕的三维螺线管结构激励线圈和三维螺线管结构感应线圈包围，作为传感器的主体部分，在垂直铁芯轴向，孔间隔较小密集排列，在沿铁芯轴向，孔间距较大排列，在沿铁芯轴向形成多列“有孔-无孔”交替结构，将铁芯分割成形成多组局部变截面积结构，激励线圈缠绕在铁芯上相邻两孔之间有完整铁芯的区域，感应线圈缠绕在垂直于铁芯长边的每一列孔所在的位置，铁芯和线圈之间由聚酰亚胺作为绝缘层和保护层，激励线圈和感应线圈分别连接到位于衬底上的焊盘用于引线。

2.如权利要求1所述的多孔结构铁芯磁通门传感器，其特征是，软磁铁芯的孔的形状采用四边形或六边形。

3.如权利要求1所述的多孔铁芯结构磁通门传感器，其特征是，用作激励线圈和感应线圈的三维螺线管由上下两层组成，两层之间的连通部分由多个连接导体组成。

4.如权利要求1所述的多孔铁芯结构磁通门传感器，其特征是，激励线圈、感应线圈为低电阻率金属。