[发明专利]六氯乙硅烷机台及其保养维护方法

摘要

一种六氯乙硅烷机台，包括：工艺机台，为六氯乙硅烷之工艺制程腔室；泵抽单元，通过具有主阀的管路与所述工艺机台连接；冷阱装置，进一步包括金属隔离网以及设置在金属隔离网外围的冷却装置，且冷阱装置设置在管路之异于泵抽单元的一端与主阀之间。本发明通过在主阀和管路之间设置冷阱装置，使得工艺机台之副产物溅落在活动设置的金属隔离网上，而不会在管路内聚集，在对六氯乙硅烷机台进行清理时不仅操作简单、方便，而且提高保养效率，提高了六氯乙硅烷机台的在线生产时间。

主权项

一种六氯乙硅烷机台，其特征在于，所述六氯乙硅烷机台包括： 工艺机台，所述工艺机台为六氯乙硅烷之工艺制程腔室； 泵抽单元，所述泵抽单元通过具有主阀的管路与所述工艺机台连接； 冷阱装置，所述冷阱装置进一步包括金属隔离网以及设置在所述金属隔离网外围的冷却装置，且所述冷阱装置设置在所述管路之异于所述泵抽单元的一端与所述主阀之间。