[发明专利]用于芯片缺陷扫描的关注区域划分方法

摘要

本发明提供一种用于芯片缺陷扫描的关注区域划分方法，至少包括以下步骤S1提供待缺陷扫描芯片的版图，根据所述版图中的图案分布定义若干子区域；S2分别获取各个所述子区域的至少两个节点坐标，形成包含所述子区域节点坐标的子区域数据文件；S3将所有子区域数据文件整合，得到所述待缺陷扫描芯片的关注区域文件；S4将缺陷扫描机台内的初始参数设定文件包中的初始关注区域文件替换为所述关注区域文件，并根据所述关注区域文件对所述待缺陷扫描芯片进行关注区域的划分。本发明的关注区域划分方法基于产品版图，能够精确划分芯片的关注区域，从而提高缺陷扫描结果的有效性。

主权项

一种用于芯片缺陷扫描的关注区域划分方法，其特征在于，至少包括以下步骤：S1：提供待缺陷扫描芯片的版图，根据所述版图中的图案分布定义若干子区域；S2：分别获取各个所述子区域的至少两个节点坐标，形成包含所述子区域节点坐标的子区域数据文件，所述子区域为矩形，所述节点为矩形的直角端点，且获取各个所述子区域至少一条对角线两端节点坐标，并根据缺陷扫描机台中设置的参数格式将获得的节点坐标存储为所述子区域数据文件，以使所述子区域数据文件中的数据能够被所述缺陷扫描机台识别；S3：将所有子区域数据文件整合，得到所述待缺陷扫描芯片的关注区域文件；S4：将缺陷扫描机台内的初始参数设定文件包中的初始关注区域文件替换为所述关注区域文件，并根据所述关注区域文件对所述待缺陷扫描芯片进行关注区域的划分。