[发明专利]用于芯片缺陷扫描的关注区域划分方法

权利要求书

1.一种用于芯片缺陷扫描的关注区域划分方法，其特征在于，至少包括以下步骤：

S1：提供待缺陷扫描芯片的版图，根据所述版图中的图案分布定义若干子区域；

S2：分别获取各个所述子区域的至少两个节点坐标，形成包含所述子区域节点坐标的子区域数据文件，所述子区域为矩形，所述节点为矩形的直角端点，且获取各个所述子区域至少一条对角线两端节点坐标，并根据缺陷扫描机台中设置的参数格式将获得的节点坐标存储为所述子区域数据文件，以使所述子区域数据文件中的数据能够被所述缺陷扫描机台识别；

S3：将所有子区域数据文件整合，得到所述待缺陷扫描芯片的关注区域文件；

S4：将缺陷扫描机台内的初始参数设定文件包中的初始关注区域文件替换为所述关注区域文件，并根据所述关注区域文件对所述待缺陷扫描芯片进行关注区域的划分。

2.根据权利要求1所述的用于芯片缺陷扫描的关注区域划分方法，其特征在于：于所述步骤S2中，通过图像分析软件获取各个所述子区域的至少两个节点坐标。

3.根据权利要求1所述的用于芯片缺陷扫描的关注区域划分方法，其特征在于：于所述步骤S1中，对于所述版图中相同类型的图案，将其定义为同一类型的子区域，并针对所述同一类型的子区域设置相同的缺陷判断标准参数值。

4.根据权利要求1所述的用于芯片缺陷扫描的关注区域划分方法，其特征在于：所述子区域包括逻辑区、存储区及整体区域中的至少一种。

5.根据权利要求1所述的用于芯片缺陷扫描的关注区域划分方法，其特征在于：所述待缺陷扫描芯片为一个单独的单元裸片。