[发明专利]用于等离子体处理的电极组件及其制造方法在审
| 申请号： | 201410122888.6 | 申请日： | 2014-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN104952678A | 公开（公告）日： | 2015-09-30 |
| 发明（设计）人： | 徐朝阳;姜银鑫;彭帆 | 申请（专利权）人： | 中微半导体设备（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/04 | 分类号： | H01J37/04;H01J37/32;H01J9/02 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种用于等离子体刻蚀的电极组件及其制造方法，采用一安装层和一弹性连接层构成一连接层，置于一电极和一支撑部件之间，设置所述安装层的材料与所述电极和所述支撑部件之一的材质相同，并将所述安装层与与之材质相同的结合面机械连接，将弹性连接层与未与所述安装层连接的一结合面粘接固定，实现支撑部件和所述电极的可拆卸粘接。所述弹性粘接层可以增大电极和支撑部件之间的有效接触面积，从而降低电极和支撑部件间的接触热阻，另外，还可以允许所述电极和所述支撑部件之间由于热膨胀而导致的相对运动，从而避免电极和支撑部件之间由于两者的热膨胀系数差而导致电极的弯曲或开裂的问题，延长了电极使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 等离子体 处理 电极 组件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种用于等离子体处理的电极组件，包括：具有第一结合面的支撑部件，所述支撑部件为金属材质；一电极，具有与所述第一结合面配合的第二结合面；一设置于所述支撑部件和所述电极之间的连接层，所述连接层包括一弹性连接层和一安装层，所述安装层的材质与所述支撑部件材质相同或与所述电极材质相同，所述安装层与材质相同的所述支撑部件的第一结合面或所述电极的第二结合面固定结合，所述弹性连接层与另一结合面固定结合。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中微半导体设备（上海）有限公司，未经中微半导体设备（上海）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201410122888.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：衬底处理装置及半导体器件的制造方法
- 下一篇：一种隔离开关专用防护罩
