[发明专利]用于等离子体处理的电极组件及其制造方法

权利要求书

1.一种用于等离子体处理的电极组件，包括：

具有第一结合面的支撑部件，所述支撑部件为金属材质；

一电极，具有与所述第一结合面配合的第二结合面；

一设置于所述支撑部件和所述电极之间的连接层，所述连接层包括一弹性连接层和一安装层，所述安装层的材质与所述支撑部件材质相同或与所述电极材质相同，所述安装层与材质相同的所述支撑部件的第一结合面或所述电极的第二结合面固定结合，所述弹性连接层与另一结合面固定结合。

2.根据权利要求1所述的电极组件，其特征在于，所述安装层的材质与所述金属部件材质相同，为一金属层，所述安装层和所述支撑部件的第一结合面固定结合，所述弹性连接层与所述电极的第二结合面固定结合。

3.根据权利要求2所述的电极组件，其特征在于，所述支撑部件的第一结合面材质为铝或铝合金，所述安装层材质与所述支撑部件的材质相同。

4.根据权利要求1所述的电极组件，其特征在于，所述安装层的材质与所述电极材质相同，所述安装层与所述电极的第二结合面固定结合，所述弹性连接层与所述支撑部件的所述第一结合面固定结合。

5.根据权利要求4所述的电极组件，其特征在于，所述电极的材质为硅、碳化硅、石英或铝中的一种，所述安装层的材质与所述电极材质相同。

6.根据权利要求1-5中任一项权利要求所述的电极组件，其特征在于，所述电极组件为气体喷头式电极，所述支撑部件上设置第一组喷气孔，所述电极上设置第二组喷气孔，所述连接层上设置容许所述第一组喷气孔和所述第二组喷气孔气体贯通的通道。

7.根据权利要求6所述的电极组件，其特征在于，所述连接层上的通道设置为与所述第一组喷气孔和第二组喷气孔相匹配的第三组喷气孔，所述第三组喷气孔的孔径大于等于所述第一组喷气孔和所述第二组喷气孔的孔径。

8.根据权利要求6所述的电极组件，其特征在于，所述连接层上的通道设置为环绕所述第一组喷气孔和所述第二组喷气孔的窄缝，所述窄缝的宽度大于所述第一组喷气孔和所述第二组喷气孔的孔径。

9.根据权利要求6所述的电极组件，其特征在于，所述支撑部件内部或上方设置温度调节系统，所述弹性连接层具有良好的导热性能。

10.根据权利要求9所述的电极组件，其特征在于，所述弹性连接层的材料为有机硅胶，所述有机硅胶中包含氧化铝或氮化铝等导热材料。

11.根据权利要求9所述的电极组件，其特征在于，所述弹性连接层的材料为可熔性含氟聚合物，所述含氟聚合物包括以下材料中的一种：PFA、PTFE、ETFE、FEP、PEEK、PCTFE。

12.根据权利要求1-5任一项权利要求所述的电极组件，其特征在于，所述安装层的厚度小于等于0.5mm，所述弹性连接层的厚度小于等于3mm。

13.一种制作电极组件的方法，其特征在于：包括下列步骤：

提供一具有第一结合面的金属支撑部件，在所述金属支撑部件上设置第一组喷气孔；提供一具有第二结合面的电极，在所述电极上设置与所述第一组喷气孔相匹配的第二组喷气孔；

提供一连接层，在所述连接层上设置一组气体通道，所述连接层包括一安装层和一弹性连接层，所述安装层的材质与所述金属支撑部件或所述电极之一材质相同；

将所述安装层和与其材质相同的述支撑部件或所述电极固定结合，将所述弹性连接层与未与所述安装层连接的一结合面固定结合，并使得所述第一组喷气孔，所述气体通道和所述第二组喷气孔贯通。

14.根据权利要求13所述的制作电极组件的方法，其特征在于：所述安装层与所述金属支撑部件的材质相同，所述弹性连接层具有粘性，将所述安装层和所述金属支撑部件的第一结合面固定结合，将所述弹性连接层的一面与所述安装层黏接，另一面与所述电极的第二结合面粘接固定。

15.根据权利要求14所述的制作电极组件的方法，其特征在于：所述金属支撑部件和所述电极机械方式夹紧连接，所述安装层通过所述机械方式与所述金属支撑部件夹紧结合。