[发明专利]研磨装置及磨损检测方法

摘要

一种研磨装置及磨损检测方法，能够检测研磨垫的偏磨损的发生，并检测研磨垫的恰当的更换时间。按规定时间检测使研磨台旋转驱动的研磨台驱动轴或使修整器驱动的修整器驱动轴的转速值或旋转力矩值、或者使所述修整器摆动的修整器摆动轴的摆动力矩值，基于该检测到的转速值、旋转力矩值或摆动力矩值来计算其变化量，并判断该变化量是否超过了规定值。在以规定次数判断成变化量超过了规定值的情况下，对用户发出警报。

主权项

一种CMP装置，具有检测研磨垫的偏磨损的检测系统，其特征在于，具有：能够旋转的研磨台，其与研磨台驱动轴连接，且配置有所述研磨垫；能够旋转的研磨头，其保持基板，并用于将所述基板按压到所述研磨垫上；修整装置，其具有修整头和修整器摆动轴，该修整头具有对所述研磨垫的研磨面进行修整的修整面，与修整器驱动轴连接，通过所述修整器驱动轴而旋转，该修整器摆动轴与摆动致动器连接，使所述修整头在所述研磨台上的位置与所述研磨台的外侧的位置之间摆动；以及检测所述研磨垫的偏磨损的检测系统，其具有传感器装置和控制部，该传感器装置检测所述研磨台的转速、通过所述研磨台驱动轴对所述研磨台施加的旋转力矩、所述修整头的转速、通过所述修整器驱动轴对所述修整头施加的旋转力矩、及通过所述摆动致动器对所述修整器摆动轴施加的摆动力矩中的至少一种数据，该控制部从所述传感器装置获取所检测到的数据，计算规定时间内的所检测到的所述数据的变化量，判断计算出的所述变化量是否超过了规定值。