[发明专利]原子力显微镜探针装置有效
| 申请号： | 201410118215.3 | 申请日： | 2014-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN103869103A | 公开（公告）日： | 2014-06-18 |
| 发明（设计）人： | 白英英;张守龙;王伟 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01Q60/38 | 分类号： | G01Q60/38 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 吴世华;林彦之 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种原子力显微镜探针装置，包括探测针和探针座，其中探测针包括微悬臂以及设于所述微悬臂一端的针尖，所述微悬臂在其与所述针尖相对的表面上形成有台阶孔；探针座包括吸附件和定位件，所述吸附件包括真空吸附槽以及吸附面，所述真空吸附槽用于使所述探测针吸附于所述吸附面；所述定位件从所述吸附面伸出插入所述台阶孔中并旋转以与所述台阶孔的台阶面抵接。本发明的原子力显微镜探针装置能够提高换针效率。 | ||
| 搜索关键词： | 原子 显微镜 探针 装置 | ||
【主权项】：
一种原子力显微镜探针装置，其特征在于，包括：探测针，包括微悬臂以及设于所述微悬臂一端的针尖，所述微悬臂在其与所述针尖相对的表面上形成有台阶孔；探针座，包括：吸附件，其具有吸附面，所述吸附面上开设有与抽真空部件连通的导气槽，用于使所述探测针吸附于所述吸附面；以及定位件，从所述吸附面向下伸出插入所述台阶孔中并旋转以与所述台阶孔的台阶面抵接。
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