[发明专利]原子力显微镜探针装置

权利要求书

1.一种原子力显微镜探针装置，其特征在于，包括：

探测针，包括微悬臂以及设于所述微悬臂一端的针尖，所述微悬臂在其与所述针尖相对的表面上形成有台阶孔；

探针座，包括：

吸附件，其具有吸附面，所述吸附面上开设有与抽真空部件连通的导气槽，用于使所述探测针吸附于所述吸附面；以及

定位件，从所述吸附面向下伸出插入所述台阶孔中并旋转以与所述台阶孔的台阶面抵接。

2.根据权利要求1所述的原子力显微镜探针装置，其特征在于，所述台阶孔为两段式台阶孔，包括小孔段和大孔段。

3.根据权利要求2所述的原子力显微镜探针装置，其特征在于，所述定位件包括相连的转动杆及转动条，其中所述转动杆的截面最大尺寸小于所述小孔段的截面最小尺寸；所述转动条的截面形状与所述小孔段的截面形状相配合，其截面最大尺寸大于所述小孔段的截面最小尺寸且小于所述大孔段的截面最小尺寸；其中，所述截面最大尺寸为截面外周边各点至旋转中心的距离最大值，所述截面最小尺寸为截面外周边各点至旋转中心的距离最小值。

4.根据权利要求3所述的原子力显微镜探针装置，其特征在于，所述转动杆的长度与所述小孔段的深度相同；所述转动条的长度小于所述大孔段的深度。

5.根据权利要求4所述的原子力显微镜探针装置，其特征在于，所述台阶孔为长方形孔，所述转动条为长方形条。

6.一种原子力显微镜探针装置，其特征在于，包括：

探测针，包括微悬臂以及设于所述微悬臂一端的针尖，所述微悬臂中形成有贯穿所述微悬臂的通孔；

探针座，包括：

吸附件，其包括真空吸附槽以及吸附面，所述真空吸附槽用于使所述探测针吸附于所述吸附面；以及

定位件，从所述吸附面伸出插入所述通孔中并旋转以与所述微悬臂设有针尖的表面抵接。

7.根据权利要求6所述的原子力显微镜探针装置，其特征在于，所述定位件包括相连的转动杆及转动条，其中所述转动杆的截面最大尺寸小于所述通孔的截面最小尺寸，所述转动条的截面形状与所述通孔的截面形状相配合且其截面最大尺寸大于所述通孔的截面最小尺寸；其中，所述截面最大尺寸为截面外周边各点至旋转中心的距离最大值，所述截面最小尺寸为截面外周边各点至旋转中心的距离最小值。

8.根据权利要求7所述的原子力显微镜探针装置，其特征在于，所述转动杆的长度与所述通孔的深度相同。

9.根据权利要求8所述的原子力显微镜探针装置，其特征在于，所述通孔为长方形孔，所述转动条为长方形条。