[发明专利]一种MEMS压阻谐振器有效
| 申请号： | 201410116728.0 | 申请日： | 2014-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN103873012B | 公开（公告）日： | 2017-01-25 |
| 发明（设计）人： | 张乐;欧文;明安杰 | 申请（专利权）人： | 江苏物联网研究发展中心 |
| 主分类号： | H03H9/24 | 分类号： | H03H9/24;H03H9/02 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司11332 | 代理人： | 胡彬,邓猛烈 |
| 地址： | 214135 江苏省无锡市新区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种MEMS压阻谐振器，包括衬底；输入电极，用于为振子提供交流电压信号以使振子振动；输入偏置电压电极，形成在衬底上并位于振动的波节处，用于为振子提供直流偏置电压信号，以使得响应交流电压信号所导致的振子的电阻变化而产生的感测电流流经振子；输出电极，位于振动的波节处，并与输入偏置电压电极相对设置，用于响应所述感测电流，输出频率信号；第一锚结构，用于将直流偏置电压信号传送到振子；第二锚结构，用于将感测电流传送到输出电极；振子，设置于输入电极之间，并通过第一和第二锚结构悬置于衬底上方，振子包括流过所述感测电流的第一区域以及不流过所述感测电流的第二区域，以减小自发热产生的频率不稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 谐振器 | ||
【主权项】：
一种MEMS压阻谐振器，其特征在于，包括：衬底；至少一对输入电极，形成在所述衬底上，用于为振子提供交流电压信号，以使所述振子振动；输入偏置电压电极，形成在所述衬底上并位于所述振子振动的波节处，用于为所述振子提供直流偏置电压信号，以使得响应所述交流电压信号所导致的振子的电阻变化而产生的感测电流流经所述振子；输出电极，形成在所述衬底上并位于所述振子振动的波节处，并与所述输入偏置电压电极相对设置，用于响应所述感测电流，从而输出频率信号；第一锚结构，用于将所述振子支撑于输入偏置电压电极上并将直流偏置电压信号传送到振子；第二锚结构，用于将所述振子支撑于输出电极上并将所述感测电流传送到输出电极；振子，设置于所述输入电极之间，并且通过第一锚结构和第二锚结构悬置于所述衬底上方，其中所述振子包括：流过所述感测电流的第一区域以及不流过所述感测电流的第二区域。
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