[发明专利]一种蒸发源装置有效
| 申请号： | 201410111163.7 | 申请日： | 2014-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN103849837A | 公开（公告）日： | 2014-06-11 |
| 发明（设计）人： | 潘剑白;陈思敏;赵芳 | 申请（专利权）人： | 四川虹视显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 成都宏顺专利代理事务所(普通合伙) 51227 | 代理人： | 周永宏 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种蒸发源装置，包括坩埚、线圈、浮力环和蒸发界面加热装置，线圈环绕于坩埚外侧；坩埚的中间设有一圆柱形中空突起，突起内部设置一铁芯；浮力环为中空的环形结构，浮力环套于坩埚中间的突起上；蒸发界面加热装置包括若干个同心圆环加热片，每个圆环加热片均采用陶瓷包裹圆环铁质薄片的结构，蒸发界面加热装置套于坩埚中间的突起上并置于浮力环上。该蒸发源装置采用感应涡流加热的方法，一方面，在同等条件下，能够显著缩短蒸发速率地稳定时间；另一方面，可对蒸发界面实时、直接加热，补充蒸发带走的热量，有利于提高蒸发速率和蒸发稳定性，便于形成均匀的镀膜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蒸发 装置 | ||
【主权项】：
一种蒸发源装置，其特征在于：包括坩埚、线圈、浮力环和蒸发界面加热装置，所述线圈环绕于坩埚外侧；所述坩埚的中间设有一圆柱形中空突起，所述突起内部设置一铁芯；所述浮力环为中空的环形结构，浮力环套于坩埚中间的突起上；所述蒸发界面加热装置包括若干个同心圆环加热片，每个圆环加热片均采用陶瓷包裹圆环铁质薄片的结构，蒸发界面加热装置套于坩埚中间的突起上并置于浮力环上。
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