[发明专利]一种蒸发源装置有效
| 申请号： | 201410111163.7 | 申请日： | 2014-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN103849837A | 公开（公告）日： | 2014-06-11 |
| 发明（设计）人： | 潘剑白;陈思敏;赵芳 | 申请（专利权）人： | 四川虹视显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 成都宏顺专利代理事务所(普通合伙) 51227 | 代理人： | 周永宏 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 蒸发 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种蒸发源装置，其特征在于：包括坩埚、线圈、浮力环和蒸发界面加热装置，所述线圈环绕于坩埚外侧；所述坩埚的中间设有一圆柱形中空突起，所述突起内部设置一铁芯；所述浮力环为中空的环形结构，浮力环套于坩埚中间的突起上；所述蒸发界面加热装置包括若干个同心圆环加热片，每个圆环加热片均采用陶瓷包裹圆环铁质薄片的结构，蒸发界面加热装置套于坩埚中间的突起上并置于浮力环上。
2.根据权利要求1所述的蒸发源装置，其特征在于：所述各个圆环加热片的圆环铁质薄片的厚度之和小于感应涡流的趋肤厚度，且圆环铁质薄片厚度随圆环加热片与圆心距离的增大而减小。
3.根据权利要求2所述的蒸发源装置，其特征在于：所述蒸发界面加热装置的若干个同心圆环加热片的环间距相等。
4.根据权利要求1～3任一项权利要求所述的蒸发源装置，其特征在于：所述铁芯的高度小于所述线圈的纵向深度。
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