[发明专利]一种炉管清洗方法无效
| 申请号： | 201410106604.4 | 申请日： | 2014-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN103894381A | 公开（公告）日： | 2014-07-02 |
| 发明（设计）人： | 江润峰 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/027 | 分类号： | B08B9/027 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 吴俊 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种炉管清洗方法，涉及微电子领域。该方法为：向炉管通入氧气；向所述炉管注入55～65分钟的携带有二氯乙烯的氮气；停止注入所述氮气；向所述炉管通入水气；停止通入所述水气。本方法通过二氯乙烯和氧气在高温下可以去除炉管中碱金属离子和有机物残余；通过长时间的通入氧气去除了炉管中二氯乙烯的残余；通过水气去除了炉管中的重金属离子。本发明消除了炉管中累积的重金属，并去除了炉管中二氯乙烯的残余，达到了提高了后续工艺的稳定性的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 炉管 清洗 方法 | ||
【主权项】：
一种炉管清洗方法，其特征在于，包括下述步骤：步骤1.向炉管通入氧气；步骤2.向所述炉管注入55～65分钟的携带有二氯乙烯的氮气；步骤3.停止注入所述氮气；步骤4.向所述炉管通入水气；步骤5.停止通入所述水气。
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