[发明专利]一种炉管清洗方法无效
| 申请号： | 201410106604.4 | 申请日： | 2014-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN103894381A | 公开（公告）日： | 2014-07-02 |
| 发明（设计）人： | 江润峰 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/027 | 分类号： | B08B9/027 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 吴俊 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 炉管 清洗 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种炉管清洗方法，其特征在于，包括下述步骤：
步骤1.向炉管通入氧气；
步骤2.向所述炉管注入55～65分钟的携带有二氯乙烯的氮气；
步骤3.停止注入所述氮气；
步骤4.向所述炉管通入水气；
步骤5.停止通入所述水气。
2.如权利要求1所述炉管清洗方法，其特征在于，所述炉管的温度为900℃～1000℃。
3.如权利要求1所述炉管清洗方法，其特征在于，步骤1中向所述炉管通入的所述氧气时间为5～10分钟。
4.如权利要求1所述炉管清洗方法，其特征在于，步骤4中所述水气为体积比为1:1的氢气和所述氧气通入至燃烧室生成的所述水气。
5.如权利要求1所述炉管清洗方法，其特征在于，步骤4中向所述炉管通入所述水气的时间为55～65分钟。
6.如权利要求1所述炉管清洗方法，其特征在于，步骤5中停止通入所述水气的过程为：先停止所述氢气的通入，然后停止所述氧气的通入。
7.如权利要求6所述炉管清洗方法，其特征在于，停止所述氢气的通入5分钟后停止氧气的通入。
8.如权利要求1至7中任意一项所述炉管清洗方法，其特征在于，通入所述氧气、所述氢气和所述氮气的步骤由机台的质量流量控制器的菜单控制执行。
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