[发明专利]一种晶片盒门改进结构在审
| 申请号： | 201410102080.1 | 申请日： | 2014-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN104930191A | 公开（公告）日： | 2015-09-23 |
| 发明（设计）人： | 钮晨光;蔡辉;陈超 | 申请（专利权）人： | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | F16J15/10 | 分类号： | F16J15/10 |
| 代理公司： | 上海信好专利代理事务所(普通合伙) 31249 | 代理人： | 张静洁;包姝晴 |
| 地址： | 201203 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种晶片盒门改进结构，包含：晶片盒门本体，所述的晶片盒门本体口部设有一圈密封槽；密封件，其设置在密封槽内。密封件为橡胶圈。本发明直接在晶片盒门开设密封槽，抛弃了传统的通过螺丝固定聚四氟乙烯层的方式来固定橡胶圈，避免了晶片盒门起伏时，螺丝脱离且接触设备的前面板，并提高了晶片的产量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶片 改进 结构 | ||
【主权项】：
一种晶片盒门改进结构，其特征在于，包含：晶片盒门本体（1），所述的晶片盒门本体（1）口部设有一圈密封槽（11）；密封件（2），其设置在密封槽（11）内。
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