[发明专利]一种晶片盒门改进结构

说明书

技术领域

本发明特别涉及一种晶片盒门改进结构。

背景技术

现有技术中，晶片生产加工设备的晶片盒门采用聚四氟乙烯层3’来固定盒门橡胶圈，因此需要螺丝将聚四氟乙烯层3’固定拧紧在晶片盒门1’上。

当晶片盒门1’上下起伏波动时，螺丝2’脱离且接触设备的前面板，该前面板为烤漆表面，导致前面板产生刮痕且造成粒子源，从而影响晶片的产量。

发明内容

本发明的目的是提供一种晶片盒门改进结构，直接在晶片盒门开设密封槽，抛弃了传统的通过螺丝固定聚四氟乙烯层的方式来固定橡胶圈，避免了晶片盒门起伏时，螺丝脱离且接触设备的前面板，并提高了晶片的产量。

为了实现以上目的，本发明是通过以下技术方案实现的：

一种晶片盒门改进结构，其特点是，包含：

晶片盒门本体，所述的晶片盒门本体口部设有一圈密封槽；

密封件，其设置在密封槽内。

所述的密封件为橡胶圈。

本发明与现有技术相比，具有以下优点：

本发明直接在晶片盒门开设密封槽，并将密封件配合设置在密封槽中，抛弃了传统的通过螺丝固定聚四氟乙烯层的方式来固定橡胶圈，避免了晶片盒门起伏时，螺丝脱离且接触设备的前面板，并提高了晶片的产量。

附图说明

图1为现有技术中晶片盒门中聚四氟乙烯层与螺丝连接结构示意图；

图2为本发明一种晶片盒门改进结构的结构示意图；

图3为本发明一种晶片盒门改进结构的剖视图。

具体实施方式

以下结合附图，通过详细说明一个较佳的具体实施例，对本发明做进一步阐述。

如图2、3所示，一种晶片盒门改进结构，包含：晶片盒门本体1，所述的晶片盒门本体1口部设有一圈密封槽11；密封件2，其设置在密封槽11内。所述的密封件2为橡胶圈。所述的密封件2所围成框体的形状大小与所述密封槽11开设槽口的形状大小相适配。

本发明直接在晶片盒门开设密封槽，并将密封件2配合设置在密封槽11中，抛弃了传统的通过螺丝固定聚四氟乙烯层的方式来固定橡胶圈；避免了晶片盒门起伏时螺丝脱离且接触设备的前面板，导致前面板产生刮痕且造成粒子源；并提高了晶片的产量。

尽管本发明的内容已经通过上述优选实施例作了详细介绍，但应当认识到上述的描述不应被认为是对本发明的限制。在本领域技术人员阅读了上述内容后，对于本发明的多种修改和替代都将是显而易见的。因此，本发明的保护范围应由所附的权利要求来限定。