[发明专利]探针卡用导板有效
| 申请号： | 201410099102.3 | 申请日： | 2014-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN104062476B | 公开（公告）日： | 2018-06-12 |
| 发明（设计）人： | 木村哲平;白石晶纪;藤原洸辅 | 申请（专利权）人： | 日本电子材料株式会社;新光电气工业株式会社 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 吕俊刚;王伶 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及探针卡用导板。提供了一种通过增大贯通孔的缘部处的机械强度，能够应对贯通孔的微型化和节距减小的探针卡用导板。探针卡用导板（100）包括具有表面（110a、110b）和贯通孔（111）的硅基板（110）、贯通孔的缘部（113a、113b）以及形成在缘部上的曲面部（122a、122b）。贯通孔被构造为引导探针（200）并且包括内壁面（112）。缘部由硅基板的表面和贯通孔的内壁面构成。曲面部由二氧化硅膜形成。 | ||
| 搜索关键词： | 贯通孔 探针卡 导板 缘部 硅基板 内壁面 曲面部 微型化 二氧化硅膜 减小 节距 探针 | ||
【主权项】：
一种探针卡用导板，该探针卡用导板包括：硅基板，所述硅基板具有能够贯穿插入探针的贯通孔；所述贯通孔的缘部，所述缘部由所述硅基板的表面和所述贯通孔的内壁面构成；以及曲面部，该曲面部形成在所述缘部上，所述曲面部由二氧化硅膜形成，由所述曲面部使所述缘部变圆成为弧形，贯穿插入到所述贯通孔内的所述探针能够在所述曲面部上滑动。
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