[发明专利]探针卡用导板

权利要求书

1.一种探针卡用导板，该探针卡用导板包括：

硅基板，所述硅基板具有能够贯穿插入探针的贯通孔；

所述贯通孔的缘部，所述缘部由所述硅基板的表面和所述贯通孔的内壁面构成；以及

曲面部，该曲面部形成在所述缘部上，所述曲面部由二氧化硅膜形成，

由所述曲面部使所述缘部变圆成为弧形，

贯穿插入到所述贯通孔内的所述探针能够在所述曲面部上滑动。

2.根据权利要求1所述的探针卡用导板，其中，所述贯通孔包括：

矩形的贯通孔主体，所述贯通孔主体包括：

四个壁，和

四个角部，所述四个壁中的相邻壁在该角部处相接，以及

四个沟槽，该四个沟槽分别形成在所述角部中，并且

其中，所述贯通孔的所述内壁面包括所述贯通孔主体的所述壁，所述壁被构造为引导具有矩形截面的探针。

3.根据权利要求1或权利要求2所述的探针卡用导板，其中，所述缘部上的所述二氧化硅膜具有5μm以上的厚度。

4.根据权利要求1或权利要求2所述的探针卡用导板，该探针卡用导板还包括：

内壁部，该内壁部形成在所述贯通孔的所述内壁面上，所述内壁部由二氧化硅膜形成。

5.根据权利要求3所述的探针卡用导板，该探针卡用导板还包括：

内壁部，该内壁部形成在所述贯通孔的所述内壁面上，所述内壁部由二氧化硅膜形成。