[发明专利]一种大视场高数值孔径的i-line光刻机投影物镜有效
| 申请号： | 201410076527.2 | 申请日： | 2014-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN103837967A | 公开（公告）日： | 2014-06-04 |
| 发明（设计）人： | 刘俊伯;高洪涛;陈铭勇;朱咸昌;胡松;马驰飞;程依光 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G02B13/18 | 分类号： | G02B13/18;G02B13/22;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 孟卜娟;卢纪 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种大视场高数值孔径的i-line光刻机投影物镜，其采用了双远心、25片4组结构，其中使用了5个低阶非球面来平衡像差。物镜的像方有效视场为132×132mm，像方数值孔径可以达到0.17。经过面型优化和微调后，能有效地解决国内现有大面积平板光刻设备的分辨率低、图像传递能力差的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 视场 数值孔径 line 光刻 投影 物镜 | ||
【主权项】：
一种大视场高数值孔径的i‑line光刻机投影物镜，其特征是该物镜共轭距L=1500mm，镜片分为四组独立设计再整合优化；从入射方向开始依次设置有第一透镜组，编号G1，镜片编号L1～L8，共8枚镜片，其中第5枚镜片朝向物方的入射面为14阶非球面；第二透镜组编号G2，镜片编号L9～L12，共4枚镜片、光栏(STOP)，其中第2枚镜片朝向物方的入射面为14阶非球面；第三透镜组编号G3，镜片编号L13～L17，共5枚镜片；其中第3枚和第5枚镜片朝向物方的入射面为14阶非球面；以及第四透镜组编号G4，镜片编号L18～L25，共8枚镜片；其中第8枚朝向物方的入射面为14阶非球面；四个透镜组总共25枚镜片关于光栏对称构成一个双远心光路，其中有5个面采用了低阶非球面以平衡像差；四组镜头组成双远心结构，多个非球面的使用能减少镜片数量并有效校正多种像差，尤其是大视场下的畸变和场曲。
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