[发明专利]一种大视场高数值孔径的i-line光刻机投影物镜

权利要求书

1.一种大视场高数值孔径的i-line光刻机投影物镜，其特征是该物镜共轭距L=1500mm，镜片分为四组独立设计再整合优化；

从入射方向开始依次设置有第一透镜组，编号G1，镜片编号L1～L8，共8枚镜片，其中第5枚镜片朝向物方的入射面为14阶非球面；

第二透镜组编号G2，镜片编号L9～L12，共4枚镜片、光栏(STOP)，其中第2枚镜片朝向物方的入射面为14阶非球面；

第三透镜组编号G3，镜片编号L13～L17，共5枚镜片；其中第3枚和第5枚镜片朝向物方的入射面为14阶非球面；

以及第四透镜组编号G4，镜片编号L18～L25，共8枚镜片；其中第8枚朝向物方的入射面为14阶非球面；四个透镜组总共25枚镜片关于光栏对称构成一个双远心光路，其中有5个面采用了低阶非球面以平衡像差；

四组镜头组成双远心结构，多个非球面的使用能减少镜片数量并有效校正多种像差，尤其是大视场下的畸变和场曲。

2.根据权利要求1所述的大视场高数值孔径的i-line光刻机投影物镜，其特征是：其光学系统共轭距为1500mm，物方工作距70mm，像方工作距大于100mm，工作波长为i-line（365nm）。

3.根据权利要求1所述的大视场高数值孔径的i-line光刻机投影物镜，其特征是：其光学系统为放大成像，放大倍率M=-1.25×。

4.根据权利要求1所述的大视场高数值孔径的i-line光刻机投影物镜，其特征是：其光路为双远心光路，物方、像方的远心度均控制在±0.5度。

5.根据权利要求1、2、3、4之一所述的大视场高数值孔径的i-line光刻机投影物镜，其特征是：其像方有效视场为132×132mm，像方数值孔径能达到0.17；根据公式k代表光刻工艺因子，NA为物镜数值孔径，其中工艺因子取0.7，该物镜的分辨率理论上能达到1.5um

6.根据权利要求5所述的大视场高数值孔径的i-line光刻机投影物镜，其特征是：其镜片材料采用成都光明光电公司的、牌号分别为H-K9L、H-QK3L以及F2的玻璃。