[发明专利]半导体装置的制造方法和半导体装置有效
申请号: | 201410059961.X | 申请日: | 2014-02-21 |
公开(公告)号: | CN104867839B | 公开(公告)日: | 2018-06-01 |
发明(设计)人: | 板桥龙也;菊池由尚 | 申请(专利权)人: | 三垦电气株式会社 |
主分类号: | H01L21/56 | 分类号: | H01L21/56;H01L23/31 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 李辉;金玲 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明提供半导体装置的制造方法和半导体装置,其降低初始的泄漏电流的增加并提高了可靠性。进行树脂密封来制造半导体装置的半导体装置的制造方法的特征在于,该制造方法具备如下步骤:准备支撑板;将功率元件和控制元件载置于支撑板的主面上;以及将支撑板配置在树脂密封模具内,向模具内注入树脂而形成覆盖功率元件和控制元件的树脂密封体,在形成树脂密封体的步骤中,将多个半导体元件并列配置在支撑板上,在半导体元件数量少的列的一侧配置浇口。 | ||
搜索关键词: | 半导体装置 支撑板 制造 半导体元件 树脂密封体 功率元件 控制元件 树脂密封模具 并列配置 树脂密封 泄漏电流 树脂 浇口 配置 模具 覆盖 | ||
【主权项】:
1.一种半导体装置的制造方法,通过进行树脂密封来制造半导体装置,该半导体装置的制造方法的特征在于包括如下步骤:准备支撑板;将功率元件和控制元件载置于所述支撑板的主面上;以及将所述支撑板配置在树脂密封模具内,向该模具内注入树脂而形成覆盖所述功率元件和所述控制元件的树脂密封体,在形成所述树脂密封体的步骤中,通过使向腔室注入密封树脂的最初的浇口位置从与所述功率元件相对的位置偏离,所述功率元件不与所述浇口相对,位于与所述浇口相对的位置处的所述控制元件的配置区域与所述浇口之间具有足够的距离。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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