[发明专利]半导体器件和制造器件的方法在审

专利信息
申请号: 201410059957.3 申请日: 2014-02-21
公开(公告)号: CN104003347A 公开(公告)日: 2014-08-27
发明(设计)人: 安藤友一;佐藤幸人;前胜知 申请(专利权)人: 株式会社理光
主分类号: B81B7/00 分类号: B81B7/00;B81C1/00
代理公司: 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 代理人: 赵蓉民
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明涉及半导体器件和制造器件的方法。一种器件包括:第一衬底,功能性元件和电极在其中形成;第二衬底,贯通电极在其中形成;接合材料,其接合所述第一衬底和所述第二衬底,并在所述功能性元件和所述第二衬底之间保留预定空间;和导电材料,其将所述电极电连接到所述贯通电极。在此,所述接合材料比所述导电材料更硬,并且在电学上,所述接合材料比所述导电材料导电性更弱。
搜索关键词: 半导体器件 制造 器件 方法
【主权项】:
一种半导体器件,其包括:第一衬底,功能性元件和电极在其中形成;第二衬底,贯通电极在其中形成;接合材料,其接合所述第一衬底和所述第二衬底,并在所述功能性元件和所述第二衬底之间保留预定空间;和导电材料,其将所述电极电连接到所述贯通电极,其中所述接合材料比所述导电材料更硬,并且所述接合材料在电学上比所述导电材料导电性更弱。
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