[发明专利]一种制造高铝钛金属陶瓷复合靶材的方法无效
| 申请号： | 201410057277.8 | 申请日： | 2014-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN103846438A | 公开（公告）日： | 2014-06-11 |
| 发明（设计）人： | 陈钦忠;张科;陈宝忠 | 申请（专利权）人： | 福州阿石创光电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B22F3/14 | 分类号： | B22F3/14;C22C29/16;C22C21/00;C22C32/00 |
| 代理公司： | 福州市鼓楼区京华专利事务所(普通合伙) 35212 | 代理人： | 宋连梅 |
| 地址： | 350000 福建省福州*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 一种制造高铝钛金属陶瓷复合靶材的方法，包括：按比例将氮化钛粉和金属铝粉混合制粉；将混合均匀的复合粉末过筛，然后加入到配套模具中，并平铺均匀；将模具置于热压烧结炉中，采用惰性气体，温度为650-1000摄氏度，压力40-50Mpa范围进行烧结；保温保压2-3小时停止加热，冷却至80摄氏度出炉；对烧结好后的复合靶材按照图纸进行加工处理，即可得到成品。本发明的方法改善制粉、成型和烧结工艺及氮化钛、金属铝的复合化，从而研制出性能更加优良的氮化钛铝复合靶材。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制造 高铝钛 金属陶瓷 复合 方法 | ||
【主权项】：
一种制造高铝钛金属陶瓷复合靶材的方法，其特征在于：包括如下步骤：第一步骤：按比例将氮化钛粉和金属铝粉混合制粉；第二步骤：将混合均匀的复合粉末过筛，然后加入到配套模具中，并平铺均匀；第三步骤：将模具置于热压烧结炉中，采用惰性气体，温度为650‑1000摄氏度,压力40‑50Mpa范围进行烧结；第四步骤：保温保压2‑3小时停止加热，冷却至80摄氏度出炉；第五步骤：对烧结好后的复合靶材按照图纸进行加工处理，即可得到成品。
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