[发明专利]一种制造高铝钛金属陶瓷复合靶材的方法无效
| 申请号： | 201410057277.8 | 申请日： | 2014-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN103846438A | 公开（公告）日： | 2014-06-11 |
| 发明（设计）人： | 陈钦忠;张科;陈宝忠 | 申请（专利权）人： | 福州阿石创光电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B22F3/14 | 分类号： | B22F3/14;C22C29/16;C22C21/00;C22C32/00 |
| 代理公司： | 福州市鼓楼区京华专利事务所(普通合伙) 35212 | 代理人： | 宋连梅 |
| 地址： | 350000 福建省福州*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 制造 高铝钛 金属陶瓷 复合 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种制造高铝钛金属陶瓷复合靶材的方法，其特征在于：包括如下步骤：
第一步骤：按比例将氮化钛粉和金属铝粉混合制粉；
第二步骤：将混合均匀的复合粉末过筛，然后加入到配套模具中，并平铺均匀；
第三步骤：将模具置于热压烧结炉中，采用惰性气体，温度为650-1000摄氏度,压力40-50Mpa范围进行烧结；
第四步骤：保温保压2-3小时停止加热，冷却至80摄氏度出炉；
第五步骤：对烧结好后的复合靶材按照图纸进行加工处理，即可得到成品。
2.如权利要求1所述的一种制造高铝钛金属陶瓷复合靶材的方法，其特征在于：所述第一步骤中采用机械混合方法制得符合所需成份配比的氮化钛、铝混合粉。
3.如权利要求1所述的一种制造高铝钛金属陶瓷复合靶材的方法，其特征在于：所述第一步骤中利用纯度为99.5-99.9%，粒度为1～10μｍ的氮化钛粉和金属铝粉，按所需比例在球磨混料机中混合3－5个小时，直至均匀。
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