[发明专利]一种重掺杂发射区和栅线电极的制备方法有效
| 申请号: | 201410051094.5 | 申请日: | 2014-02-14 |
| 公开(公告)号: | CN103855252A | 公开(公告)日: | 2014-06-11 |
| 发明(设计)人: | 李涛;王文静 | 申请(专利权)人: | 中国科学院电工研究所 |
| 主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
| 代理公司: | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人: | 关玲 |
| 地址: | 100190 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | 一种重掺杂发射区和栅线电极的制备方法,采用激光局域热处理预置浆料的电池表面,一步完成掺杂和烧结两个技术环节,同时获得选择性发射区和栅线电极种子层。后续采用电镀和热退火技术完成制备流程。本发明的制备方法具有无铅环保、技术流程简单、无需特种设备、产品性能优异等优点。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 掺杂 发射 电极 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种重掺杂发射区和栅线电极的制备方法,其特征在于,所述的制备方法包括以下步骤:(1)采用丝网印刷、气动印刷或者喷墨印刷在晶硅太阳电池的硅发射极表面预置浆料;(2)采用激光局域热处理所述步骤(1)制得的置有浆料的硅发射极,同时获得晶硅太阳电池的重掺杂发射区和栅线电极种子层;所述的激光为连续激光或者脉冲激光,所述的激光波长为355nm或532nm或者1064nm,扫描速度为0.1~100m/s,所述的脉冲激光频率为0.1~10MHz;(3)采用电镀工艺增厚所述步骤(2)得到的晶硅太阳电池的栅线电极种子层,所述的电镀的电流密度为0.1~20A/dm2,所述的电镀的工艺时间为0.1~60min;栅线电极种子层和栅线电极的电镀增厚部分共同组成栅线电极;(4)对硅发射极和步骤(3)得到的栅线电极进行热退火,所述的热退火的峰值温度为100~900℃,所述的热退火时间为0.1~60min。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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