[发明专利]一种重掺杂发射区和栅线电极的制备方法有效

专利信息
申请号: 201410051094.5 申请日: 2014-02-14
公开(公告)号: CN103855252A 公开(公告)日: 2014-06-11
发明(设计)人: 李涛;王文静 申请(专利权)人: 中国科学院电工研究所
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18
代理公司: 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 代理人: 关玲
地址: 100190 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 一种重掺杂发射区和栅线电极的制备方法,采用激光局域热处理预置浆料的电池表面,一步完成掺杂和烧结两个技术环节,同时获得选择性发射区和栅线电极种子层。后续采用电镀和热退火技术完成制备流程。本发明的制备方法具有无铅环保、技术流程简单、无需特种设备、产品性能优异等优点。
搜索关键词: 一种 掺杂 发射 电极 制备 方法
【主权项】:
一种重掺杂发射区和栅线电极的制备方法,其特征在于,所述的制备方法包括以下步骤:(1)采用丝网印刷、气动印刷或者喷墨印刷在晶硅太阳电池的硅发射极表面预置浆料;(2)采用激光局域热处理所述步骤(1)制得的置有浆料的硅发射极,同时获得晶硅太阳电池的重掺杂发射区和栅线电极种子层;所述的激光为连续激光或者脉冲激光,所述的激光波长为355nm或532nm或者1064nm,扫描速度为0.1~100m/s,所述的脉冲激光频率为0.1~10MHz;(3)采用电镀工艺增厚所述步骤(2)得到的晶硅太阳电池的栅线电极种子层,所述的电镀的电流密度为0.1~20A/dm2,所述的电镀的工艺时间为0.1~60min;栅线电极种子层和栅线电极的电镀增厚部分共同组成栅线电极;(4)对硅发射极和步骤(3)得到的栅线电极进行热退火,所述的热退火的峰值温度为100~900℃,所述的热退火时间为0.1~60min。
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