[发明专利]一种小尺寸NDIR型气体传感器的光学结构有效
| 申请号： | 201410048364.7 | 申请日： | 2014-02-12 |
| 公开（公告）号： | CN103822891A | 公开（公告）日： | 2014-05-28 |
| 发明（设计）人： | 陶春辉;李淼;张健;高会议;董俊;李华龙;郑守国 | 申请（专利权）人： | 无锡中科智能农业发展有限责任公司;中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 主分类号： | G01N21/3504 | 分类号： | G01N21/3504;G01N21/01 |
| 代理公司： | 合肥天明专利事务所 34115 | 代理人： | 奚华保 |
| 地址： | 214000 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种小尺寸NDIR型气体传感器的光学结构，包括相对布置的上部本体和下部本体，其上均设置反射凹槽,两相邻反射凹槽之间设置隔板，上部本体的反射凹槽的中心位置处对应下部本体的隔板位置处，下部本体的反射凹槽的中心位置处对应上部本体的隔板位置处，光源、探测器分别布置在上部本体和下部本体的边角处，上部本体和下部本体共同围成由光源到探测器的光学路径。本发明由于优化结构从而减小了尺寸，用微组装来实现也能使其整体尺寸在1cm×1cm。另外，因为是小尺寸器件，所以可以使用MEMS工艺进行制作，可使此类传感器大大降低成本，同时MEMS工艺可以做到降低产品个体差异性，从而达到批量生产的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 尺寸 ndir 气体 传感器 光学 结构 | ||
【主权项】：
一种小尺寸NDIR 型气体传感器的光学结构，其特征在于：包括相对布置的上部本体（1）和下部本体（2），其上均设置反射凹槽（3）,两相邻反射凹槽（3）之间设置隔板（4），上部本体（1）的反射凹槽（3）的中心位置处对应下部本体（2）的隔板（4）位置处，下部本体（2）的反射凹槽（3）的中心位置处对应上部本体（1）的隔板（4）位置处，光源（7）、探测器（8）分别布置在上部本体（1）和下部本体（2）的边角处，上部本体（1）和下部本体（2）共同围成由光源（7）到探测器（8）的光学路径。
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