[发明专利]纳米压印模板、系统以及压印方法

摘要

本发明公开了一种纳米压印模板、系统以及压印方法。该纳米压印模板包括：对紫外光透明的第一基板；压印图形结构，形成在第一基板的第一表面上；加热部件，形成在第一基板的与第一表面相对的第二表面上，其中加热部件对紫外光透明；以及第一电极对，形成在第二表面上，用于将外部电源施加的电流提供给加热部件从而使加热部件产生热量。本发明的纳米压印模板和系统将紫外固化纳米压印技术和热塑纳米压印技术无缝融合在一起，具有设备体积小、成本低、工艺简单等优点。利用本发明的模板和系统进行热塑纳米压印时能够复制大面积微纳图形；利用本发明的模板和系统进行紫外光固化纳米压印时能够实现提高工艺吞吐量和减少图形复制缺陷的目的。

主权项

一种纳米压印模板，其特征在于包括：对紫外光透明的第一基板；压印图形结构，形成在所述第一基板的第一表面上；加热部件，形成在所述第一基板的与所述第一表面相对的第二表面上，其中所述加热部件对所述紫外光透明；以及第一电极对，形成在所述第二表面上，用于将外部电源施加的电流提供给所述加热部件从而使所述加热部件产生热量。