[发明专利]一种激光退火匀光装置

摘要

本发明涉及一种激光退火匀光装置，应用于激光退火装置中，包括发射激光光束的激光器，还包括若干柱面镜，所述若干柱面镜的曲率半径均相同，各个柱面镜在曲率所在平面的尺寸相同，且各个柱面镜在光束的传播方向上的长度不同，每两个柱面镜在光束的传播方向上的长度差大于所述激光器的相干长度。本发明中，采用长度不同的大尺寸的柱面镜代替了现有技术中透明玻璃板与柱面镜组合的方式，同样能够实现消除干涉和匀化光束的作用，同时还消除了衍射引起的匀光效果不理想的问题，且减少了光学系统的搭建难度，以及降低了成本。

主权项

一种激光退火匀光装置，应用于激光退火装置中，包括发射激光光束的激光器，其特征在于，还包括若干柱面镜，所述若干柱面镜的曲率半径均相同，各个柱面镜在曲率所在平面的尺寸相同，且各个柱面镜在光束的传播方向上的长度不同，每两个柱面镜在光束的传播方向上的长度差大于所述激光器的相干长度；所述激光退火装置还包括准直系统、扩束系统以及聚焦系统，所述激光退火装置的排列顺序沿光路传播方向依次为激光器、准直系统、扩束系统、若干柱面镜以及聚焦系统，所述激光器发出的光束经所述准直系统变为平行光，再经过扩束系统将光束扩大到所需尺寸，再经所述若干柱面镜匀光，最终经所述聚焦系统形成所需的光斑。