[发明专利]一种激光退火匀光装置

权利要求书

1.一种激光退火匀光装置，应用于激光退火装置中，包括发射激光光束的激光器，其特征在于，还包括若干柱面镜，所述若干柱面镜的曲率半径均相同，各个柱面镜在曲率所在平面的尺寸相同，且各个柱面镜在光束的传播方向上的长度不同，每两个柱面镜在光束的传播方向上的长度差大于所述激光器的相干长度；

所述激光退火装置还包括准直系统、扩束系统以及聚焦系统，所述激光退火装置的排列顺序沿光路传播方向依次为激光器、准直系统、扩束系统、若干柱面镜以及聚焦系统，所述激光器发出的光束经所述准直系统变为平行光，再经过扩束系统将光束扩大到所需尺寸，再经所述若干柱面镜匀光，最终经所述聚焦系统形成所需的光斑。

2.如权利要求1所述的激光退火匀光装置，其特征在于，每两个柱面镜在光束的传播方向上的长度差为固定值。

3.如权利要求1所述的激光退火匀光装置，其特征在于，每两个柱面镜在光束的传播方向上的长度差值均不同。

4.如权利要求1所述的激光退火匀光装置，其特征在于，所述柱面镜的数量和所述柱面镜在曲率所在平面的尺寸由入射至所述激光退火匀光装置的光束直径来决定。

5.如权利要求1所述的激光退火匀光装置，其特征在于，所述柱面镜的数量为5～7根。

6.如权利要求1所述的激光退火匀光装置，其特征在于，所述柱面镜的曲率半径为100mm～200mm。

7.如权利要求1所述的激光退火匀光装置，其特征在于，所述柱面镜在曲率所在方向的口径为4mm～10mm。

8.如权利要求1所述的激光退火匀光装置，其特征在于，所述柱面镜采用光学冷加工方法加工制造。