[发明专利]一种碱金属谐振器及其制备方法有效
| 申请号： | 201410037275.2 | 申请日： | 2014-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN103744283A | 公开（公告）日： | 2014-04-23 |
| 发明（设计）人： | 张忠山;于连忠;汤亮;乔东海 | 申请（专利权）人： | 苏州大学 |
| 主分类号： | G04F5/14 | 分类号： | G04F5/14 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 陶海锋 |
| 地址： | 215123 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种碱金属谐振器及其制备方法。碱金属谐振器是由玻璃-硅-玻璃，通过两次静电键合，形成的三明治结构。碱金属通过谐振器侧面预留通孔移植到碱金属谐振腔内；然后，用低温焊料，在手套箱中完成碱金属谐振器的封闭操作。本发明采用了MEMS的工艺，可以进行批量生产，成本低；另外，碱金属的移植是在静电键合工艺过程之后进行的，不会影响静电键合质量；碱金属谐振腔内植入是纯碱金属，不含任何其余物质，不会影响信号质量；不需要对碱金属做任何处理，有效的降低了碱金属谐振器制造成本和制作周期。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 碱金属 谐振器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种制备碱金属谐振器的方法，其特征在于，包括以下步骤：（1）在清洗后的硅片中间制备出作为谐振腔的通孔，并在硅片的周边制备一开口，所述开口的一端与谐振腔连通； （2）通过静电键合方式对上述带有通孔与开口的硅片进行玻璃‑硅片‑玻璃静电键合，形成三明治结构；（3）在开口两侧硅片的表面溅射金属；（4）在手套箱中，将碱金属通过开口移植至谐振腔内；然后将缓冲气体充入谐振腔内；再利用熔点为45～180℃的焊料将开口密封即完成碱金属谐振器的制备。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州大学，未经苏州大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201410037275.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
