[发明专利]一种碱金属谐振器及其制备方法有效
| 申请号： | 201410037275.2 | 申请日： | 2014-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN103744283A | 公开（公告）日： | 2014-04-23 |
| 发明（设计）人： | 张忠山;于连忠;汤亮;乔东海 | 申请（专利权）人： | 苏州大学 |
| 主分类号： | G04F5/14 | 分类号： | G04F5/14 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 陶海锋 |
| 地址： | 215123 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 碱金属 谐振器 及其 制备 方法 | ||
1.一种制备碱金属谐振器的方法，其特征在于，包括以下步骤：
（1）在清洗后的硅片中间制备出作为谐振腔的通孔，并在硅片的周边制备一开口，所述开口的一端与谐振腔连通；
（2）通过静电键合方式对上述带有通孔与开口的硅片进行玻璃-硅片-玻璃静电键合，形成三明治结构；
（3）在开口两侧硅片的表面溅射金属；
（4）在手套箱中，将碱金属通过开口移植至谐振腔内；然后将缓冲气体充入谐振腔内；再利用熔点为45～180℃的焊料将开口密封即完成碱金属谐振器的制备。
2.根据权利要求1所述制备碱金属谐振器的方法，其特征在于：所述步骤（1）中，采用KOH湿法腐蚀工艺或者深反应离子干法刻蚀工艺制备通孔与开口。
3.根据权利要求1所述制备碱金属谐振器的方法，其特征在于：所述步骤（3）中，金属为钛或者铬。
4.根据权利要求1所述制备碱金属谐振器的方法，其特征在于：所述步骤（4）中，碱金属为铷或者铯。
5.根据权利要求1所述制备碱金属谐振器的方法，其特征在于：所述步骤（4）中，缓冲气体为惰性气体。
6.根据权利要求1所述制备碱金属谐振器的方法，其特征在于：所述步骤（4）中，熔点为45～180℃的焊料为铟锡合金。
7.一种碱金属谐振器，包括腔体与六个侧面，其中一对相对的侧面为玻璃，其余侧面为硅片，其特征在于：所述硅片上设置一开口，开口的一端与谐振腔连通，另一端由熔点为45～180℃的焊料封闭；所述焊料与硅片之间设置金属层；谐振腔内放置碱金属并充入缓冲气体。
8.根据权利要求7所述碱金属谐振器，其特征在于：所述金属为钛或者铬。
9.根据权利要求7所述碱金属谐振器，其特征在于：所述碱金属为铷或者铯。
10.根据权利要求7所述碱金属谐振器，其特征在于：所述缓冲气体为惰性气体。
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