[发明专利]基板加工装置

摘要

本发明是有关于一种基板加工装置,其具备有可缩短在基板反转后至载置于下一步骤的平台的作业时间的吸附反转装置。该基板加工装置(A),具备有在基板(W)的表面形成刻划线的刻划装置(B)、以及具有吸附经刻划的基板(W)并使其反转且往下一步骤的承接部移载的吸附部(14)的吸附反转装置(C)；吸附反转装置(C)的吸附部(14)，形成为具有以旋转轴(13)为基端而从轴心往正交的方向延伸设置的多个栉齿部(14a)的栉状；承接部,以隔着间隔平行配置的多个承受构件(24)而形成；以栉齿部(14a)在从刻划装置(B)的平台(2)吸附基板(W)并反转旋动时，可潜入于承受构件(24)之间并将栉齿部(14a)上的基板(W)载置于承受构件(24)的方式，将旋转轴(13)往刻划装置(B)的平台(2)与承接部(14)的附近配置。

主权项

一种基板加工装置，其包括：刻划装置，以依序搬送脆性材料基板的主路径为第1方向，在该主路径的途中，在脆性材料基板的表面形成刻划线；以及吸附反转装置，具有吸附由刻划装置所刻划的该脆性材料基板并使其反转，往下一步骤的承接部移载的吸附部；其特征在于：该吸附反转装置的吸附部，具有以旋转轴为基端从旋转轴的轴心往正交的方向延伸设置的多个栉齿部的栉状的形状，且形成为藉由该旋转轴而可反转旋动；该承接部，以隔着间隔平行配置的多个承受构件而形成；该吸附部的旋转轴，沿着与该第1方向正交的方向延伸设置；以该吸附部的栉齿部在从刻划装置的平台吸附脆性材料基板并藉由旋转轴反转旋动时，可潜入于该承受构件之间并将栉齿部上的脆性材料基板载置于该承受构件的方式，将该旋转轴配置于刻划装置的平台及该承接部的附近位置。