[发明专利]一种利用电磁加热优化透明导电氧化物薄膜质量的方法有效
| 申请号： | 201410035552.6 | 申请日： | 2014-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN103824649B | 公开（公告）日： | 2016-11-09 |
| 发明（设计）人： | 刘生忠;肖锋伟;訾威 | 申请（专利权）人： | 陕西师范大学 |
| 主分类号： | H01B13/00 | 分类号： | H01B13/00;H01B5/14 |
| 代理公司： | 西安西交通盛知识产权代理有限责任公司 61217 | 代理人： | 王艾华 |
| 地址： | 710100 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种利用电磁加热优化透明导电氧化物薄膜质量的方法：首先在柔性材料衬底上制备TCO薄膜；将制备的TCO薄膜置于电磁场中对其加热处理，使其导电、透光性能得到提升，得到优化的透明导电氧化物薄膜。本发明的方法不但解决了在低温下制备柔性材料上的TCO这一难题，并且还可以对现有一般制备在玻璃上的TCO薄膜进行快速热处理，从而得到性能更加优异的TCO薄膜。可以广泛应用于柔性显示领域及光伏领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 利用 电磁 加热 优化 透明 导电 氧化物 薄膜 质量 方法 | ||
【主权项】：
一种利用电磁加热优化透明导电氧化物薄膜质量的方法，其特征在于，首先在柔性材料衬底上制备TCO薄膜；将制备的TCO薄膜置于电磁场中对其加热处理，使其导电、透光性能得到提升，得到优化的透明导电氧化物薄膜；在柔性材料衬底上制备透明导电氧化物薄膜是采用热蒸发、电子束蒸发、真空溅射、化学气相沉积或喷涂的方式；热处理过程是在氧气、空气、氮气或氩气中进行；进行加热处理时，电磁波频率在10Hz至100GHz之间；制备TCO薄膜和热处理时，使用卷到卷技术。
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