[发明专利]一种利用电磁加热优化透明导电氧化物薄膜质量的方法

权利要求书

1.一种利用电磁加热优化透明导电氧化物薄膜质量的方法，其特征在于，首先在柔性材料衬底上制备TCO薄膜；将制备的TCO薄膜置于电磁场中对其加热处理，使其导电、透光性能得到提升，得到优化的透明导电氧化物薄膜。

2.根据权利要求1所述的利用电磁加热优化透明导电氧化物薄膜质量的方法，其特征在于，在柔性材料衬底上制备透明导电氧化物薄膜是采用热蒸发、电子束蒸发、真空溅射、化学气相沉积或喷涂的方式。

3.根据权利要求1所述的利用电磁加热优化透明导电氧化物薄膜质量的方法，其特征在于，热处理过程是在氧气、空气、氮气或氩气中进行。

4.根据权利要求1所述的利用电磁加热优化透明导电氧化物薄膜质量的方法，其特征在于，所述TCO薄膜是掺杂的氧化铟、掺杂的氧化锡和掺杂的氧化锌的一种或多种的混合物、合金、或叠层薄膜。

5.根据权利要求1所述的利用电磁加热优化透明导电氧化物薄膜质量的方法，其特征在于，所述柔性材料衬底为玻璃、高分子材料、不锈钢箔或铝箔。

6.根据权利要求1所述的利用电磁加热优化透明导电氧化物薄膜质量的方法，其特征在于，所述柔性材料衬底是PET、聚酰胺、聚碳酸酯、聚乙烯或有机物材料。

7.根据权利要求1所述的利用电磁加热优化透明导电氧化物薄膜质量的方法，其特征在于，预制膜类型包括：用于制备TCO薄膜的各类氧化物膜以及合金薄膜。

8.根据权利要求1所述的利用电磁加热优化透明导电氧化物薄膜质量的方法，其特征在于，得到优化的透明导电氧化物薄膜厚度在10纳米到3微米之间。

9.根据权利要求1所述的利用电磁加热优化透明导电氧化物薄膜质量的方法，其特征在于，进行加热处理时，电磁波频率在10赫兹至100GHz之间。

10.根据权利要求1所述的利用电磁加热优化透明导电氧化物薄膜质量的方法，其特征在于，制备TCO薄膜和热处理时，使用卷到卷技术。