[发明专利]照明光学设备、曝光设备、照明方法、曝光方法和装置制造方法

摘要

一种照明光学设备具有光学单元(3)。所述光学单元具有分光器(35)，用以使入射射束分裂成两个射束；第一空间光调制器(33)，其可布置于第一射束的光学路径中；第二空间光调制器(34)，其可布置于第二射束的光学路径中；和光组合器(36)，其将已通过所述第一空间光调制器的射束与已通过所述第二空间光调制器的射束组合；所述第一空间光调制器和所述第二空间光调制器中的每一者具有二维地布置且个别地被控制的多个光学元件(33a、34a)。

主权项

一种照明光学设备，使照明光对于形成有图案的掩膜进行照明，所述照明光学设备的特征在于包括：空间光调制器，含有：沿预定表面布置且设置在所述照明光的光路中的多个反射表面，对于所述多个反射表面进行个别控制，而使所述照明光学设备的照明光瞳中的所述照明光分布于从所述照明光学设备的光轴离开的区域；偏振单元，配置于所述照明光的光路中，变换所述照明光的偏振状态；蝇眼透镜，配置于所述空间光调制器与所述照明光瞳之间的所述照明光的光路中；第1反射表面，将入射的照明光朝向所述空间光调制器反射；以及第2反射表面，将经由所述空间光调制器入射的照明光反射，所述第1反射表面和所述第2反射表面是与所述多个反射表面不同的表面，其中，所述蝇眼透镜以所述蝇眼透镜的后侧焦点位置与所述照明光瞳一致的方式配置在所述光路中，所述偏振单元在以偏振方向为预定一方向的线性偏振光作为主成分的偏振状态下入射到所述偏振单元的所述照明光在所述照明光瞳成为圆周偏振状态的方式，变换所述照明光的偏振状态，所述第1反射表面、所述空间光调制器以及所述第2反射表面被配置成：沿着行进方向入射到所述第1反射表面的照明光在经由所述空间光调制器之后，被所述第2反射表面朝向与所述行进方向平行的方向反射。