[发明专利]微纳热电偶探针前体的批量制备装置有效
| 申请号： | 201410015202.3 | 申请日： | 2014-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN103700760A | 公开（公告）日： | 2014-04-02 |
| 发明（设计）人： | 顾宁;汪建清 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | H01L35/34 | 分类号： | H01L35/34;G01K7/02 |
| 代理公司： | 江苏永衡昭辉律师事务所 32250 | 代理人： | 王斌 |
| 地址： | 210096*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种能实现批量、稳定、高效制备微纳热电偶探针前体的批量制备装置，包括探针、电极、探针升降滑块、探针升降导轨模组、模块转移工作台、模块转移滑台、模块转移导轨模组、电化学腐蚀模块、清洗模块、烘干模块、绝缘层包覆模块和主控制模块。本发明采用模块转移工作台一次能完成若干支微纳热电偶探针前体的制作，大大地提高了微纳热电偶探针前体的制作效率，采用U型腐蚀槽作为腐蚀溶液的容器，有效的避免了阴极电极产生的气体造成腐蚀液扰动对探针针尖形貌成型的不利效果，得到具有良好针尖形貌的探针前体。 | ||
| 搜索关键词： | 热电偶 探针 批量 制备 装置 | ||
【主权项】：
一种微纳热电偶探针前体的批量制备装置，包括探针（91）、电极（92）、探针升降滑块（9）、探针升降导轨模组（8）、模块转移工作台（5）、模块转移滑台（6）、模块转移导轨模组（7）、电化学腐蚀模块（1）、清洗模块（2）、烘干模块（3）、绝缘层包覆模块（4）和主控制模块；所述探针（91）与所述电极（92）通过设置在所述探针升降滑块（9）上的电极固定电路板（93）固定并电连接；所述探针升降滑块（9）与所述探针升降导轨模组（8）垂直滑动配合；所述模块转移工作台（5）一侧面设置有若干组固定螺孔（51），若干探针升降导轨模组（8）通过所述固定螺孔（51）与所述模块转移工作台（5）螺栓连接；在所述模块转移工作台（5）的每组所述固定螺孔（51）的一侧开有纵向贯通的电极槽（52）；所述模块转移工作台（5）通过模块转移滑台（6）与模块转移导轨模组（7）水平滑动连接；所述模块转移导轨模组（7）水平贯穿设置于电化学腐蚀模块（1）、清洗模块（2）、烘干模块（3）和绝缘层包覆模块（4）内顶部。
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