[发明专利]微纳热电偶探针前体的批量制备装置

权利要求书

1.一种微纳热电偶探针前体的批量制备装置，包括探针（91）、电极（92）、探针升降滑块（9）、探针升降导轨模组（8）、模块转移工作台（5）、模块转移滑台（6）、模块转移导轨模组（7）、电化学腐蚀模块（1）、清洗模块（2）、烘干模块（3）、绝缘层包覆模块（4）和主控制模块；所述探针（91）与所述电极（92）通过设置在所述探针升降滑块（9）上的电极固定电路板（93）固定并电连接；所述探针升降滑块（9）与所述探针升降导轨模组（8）垂直滑动配合；所述模块转移工作台（5）一侧面设置有若干组固定螺孔（51），若干探针升降导轨模组（8）通过所述固定螺孔（51）与所述模块转移工作台（5）螺栓连接；在所述模块转移工作台（5）的每组所述固定螺孔（51）的一侧开有纵向贯通的电极槽（52）；所述模块转移工作台（5）通过模块转移滑台（6）与模块转移导轨模组（7）水平滑动连接；所述模块转移导轨模组（7）水平贯穿设置于电化学腐蚀模块（1）、清洗模块（2）、烘干模块（3）和绝缘层包覆模块（4）内顶部。

2.根据权利要求1所述微纳热电偶探针前体的批量制备装置，其特征在于：所述主控制模块包括主控制电路模块和腐蚀控制电路模块，所述模块转移滑台（6）能够在所述主控制电路模块的控制下水平移动，所述探针升降滑块（9）能够在所述腐蚀控制电路模块的控制下垂直移动。

3.根据权利要求2所述微纳热电偶探针前体的批量制备装置，其特征在于：所述电化学腐蚀模块（1）包括U型腐蚀槽固定板和若干内盛装有电腐蚀溶液的U型腐蚀槽（11），所述U型腐蚀槽固定板设置于所述电化学腐蚀模块（1）底部，若干内盛装有腐蚀溶液的所述U型腐蚀槽（11）排列固定于所述U型腐蚀槽固定板上；所述探针（91）通过所述U型腐蚀槽（11）的一端开口与所述U型腐蚀槽（11）中盛装的电腐蚀溶液接触，所述电极（92）穿过所述电极槽（52）通过所述U型腐蚀槽（11）的另一端开口与所述U型腐蚀槽（11）中盛装的电腐蚀溶液接触，使所述探针（91）、所述电极（92）、电腐蚀溶液和所述电极固定电路板（93）形成电回路。

4.根据权利要求2所述微纳热电偶探针前体的批量制备装置，其特征在于：所述清洗模块（2）包括清洗槽（21）、蓄水池（22）、废水池（23）和水泵，所述废水池（23）设置在所述清洗模块（2）的底部，所述清洗槽（21）设置于所述废水池（23）的上方，所述水泵在所述主控制电路模块的控制下将所述蓄水池（22）中的清洗液泵送入所述清洗槽（21）。

5.根据权利要求2所述微纳热电偶探针前体的批量制备装置，其特征在于：所述烘干模块（3）包括烘干室（31）、排风扇（32）、加热片（33）、温度传感器和烘干室隔板（34），所述排风扇（32）、所述加热片（33）和所述温度传感器设置于烘干室（31）内部；所述烘干室隔板（34）设置于烘干室（31）顶部，所述烘干室隔板（34）上设置有电极保护凹槽（35）和烘干室出风口（36）；所述排风扇（32）、和所述加热片（33）在所述主控制电路模块的控制下工作；所述温度传感器用于采集烘干室（31）内的温度，并将温度信号反馈给所述主控制电路模块。

6.根据权利要求2所述微纳热电偶探针前体的批量制备装置，其特征在于：所述绝缘层包覆模块（4）包括绝缘层容器（41）、绝缘层容器固定架（42）、模块密闭装置以及湿度和温度监控模块，所述绝缘层容器固定架（42）设置于所述绝缘层包覆模块（4）的底部，若干个内盛装有绝缘层液的所述绝缘层容器（41）排列固定于所述绝缘层容器固定架（42）上；所述模块密闭装置用于控制所述的绝缘层包覆模块（4）处于密闭状态；所述湿度和温度监控模块用于监测所述绝缘层包覆模块（4）内的温度和湿度，并将检测结果反馈给所述主控制电路模块。

7.根据权利要求6所述微纳热电偶探针前体的批量制备装置，其特征在于：所述的绝缘层包覆模块（4）还包括设于底部的干燥剂容器（43）。