[发明专利]用于半导体激光器的检测系统有效
申请号: | 201410007511.6 | 申请日: | 2014-01-07 |
公开(公告)号: | CN103698106B | 公开(公告)日: | 2017-04-05 |
发明(设计)人: | 苏萌;胡洪江;杨林;刘群兴;李树辉;苏良河;黄莉莉 | 申请(专利权)人: | 工业和信息化部电子第五研究所 |
主分类号: | G01M11/00 | 分类号: | G01M11/00 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司44224 | 代理人: | 王茹,曾旻辉 |
地址: | 510610 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种用于半导体激光器的检测系统,包括测试模块、二维传动装置和设置在所述二维传动装置上的积分球,所述二维传动装置用于将所述积分球传送到多工位半导体激光器的各工位位置,所述测试模块通过所述积分球获取各工位位置的激光样品的测试数据,并对所述测试数据进行测试处理。实施本发明的系统,用单个积分球即可对多层多工位半导体激光器进行测试巡检,易于操作,且极大地降低了测试成本。 | ||
搜索关键词: | 用于 半导体激光器 检测 系统 | ||
【主权项】:
一种用于半导体激光器的检测系统,其特征在于,包括测试模块、二维传动装置和设置在所述二维传动装置上的积分球,触摸屏和与所述触摸屏连接的可编程逻辑控制器,数据采集模块,多工位半导体激光器;其中,所述二维传动装置包括用于沿水平方向传动所述积分球的第一滑动装置,以及用于沿竖直方向传动所述积分球的第二滑动装置;所述触摸屏用于输入待检测的激光样品的工位位置,所述可编程逻辑控制器用于接收所述工位位置,并根据所述工位位置控制所述二维传动装置将所述积分球传送到多工位半导体激光器的各工位位置,所述测试模块通过所述积分球获取各工位位置的激光样品的测试数据,并对所述测试数据进行测试处理;所述数据采集模块用于通过485总线将所述测试模块的处理结果传送至所述可编程逻辑控制器,所述可编程逻辑控制器根据所述处理结果对所述多工位半导体激光器进行监控。
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