[发明专利]用于半导体激光器的检测系统

权利要求书

1.一种用于半导体激光器的检测系统，其特征在于，包括测试模块、二维传动装置和设置在所述二维传动装置上的积分球，所述二维传动装置用于将所述积分球传送到多工位半导体激光器的各工位位置，所述测试模块通过所述积分球获取各工位位置的激光样品的测试数据，并对所述测试数据进行测试处理。

2.根据权利要求1所述的用于半导体激光器的检测系统，其特征在于，所述测试模块包括光谱仪。

3.根据权利要求1所述的用于半导体激光器的检测系统，其特征在于，还包括触摸屏和与所述触摸屏连接的可编程逻辑控制器，所述触摸屏用于输入待检测的激光样品的工位位置，所述可编程逻辑控制器用于接收所述工位位置，并根据所述工位位置控制所述二维传动装置将所述积分球传动到所述工位位置。

4.根据权利要求3所述的用于半导体激光器的检测系统，其特征在于，还包括多工位半导体激光器和液冷散热模块，所述液冷散热模块用于吸收所述多工位半导体激光器的热量。

5.根据权利要求4所述的用于半导体激光器的检测系统，其特征在于，所述液冷散热模块包括液冷散热管道。

6.根据权利要求5所述的用于半导体激光器的检测系统，其特征在于，还包括数据采集控制模块，所述数据采集模块用于通过485总线将所述测试模块的处理结果和所述液冷散热管道的液体流量传送至所述可编程逻辑控制器，所述可编程控制器用于根据所述液体流量和所述处理结果对所述液冷散热管道和所述多工位半导体激光器进行监控。

7.根据权利要求6所述的用于半导体激光器的检测系统，其特征在于，还包括机箱，所述二维传动装置和所述液冷散热模块分别通过螺栓固定在所述机箱内。

8.根据权利要求1所述的用于半导体激光器的检测系统，其特征在于，所述二维传动装置以闭环控制的方式传送所述积分球。

9.根据权利要求1至8中任意一项所述的用于半导体激光器的检测系统，其特征在于，所述二维传动装置包括用于沿水平方向传动所述积分球的第一滑动装置，以及用于沿竖直方向传动所述积分球的第二滑动装置，所述第一滑动装置包括步进电机、联轴器、滑动座、线性滑轨、滚珠螺杆、滚珠螺帽、滑动台和两个螺杆支承座，所述滑动座与所述滑动台连接，所述滑动台用于安装所述积分球，两个所述螺杆支撑座设置在所述线性滑轨和所述滚珠螺杆的两端，所述滚珠螺杆的一端通过所述联轴器与所述步进电机连接，另一端穿过所述滚珠螺帽与所述螺杆支撑座连接，所述滚珠螺帽设置在所述滑动座内，所述滚珠螺杆与滚珠螺帽配合安装，所述滑动座与所述线性滑轨滑动连接，所述滚珠螺杆的转动带动所述滚珠螺帽竖直移动，所述滚珠螺帽的竖直移动带动所述滑动座沿所述线性滑轨滑动，所述滑动座带动所述滑动台滑动，所述第一滑动装置与所述第二滑动装置的结构相同。

10.根据权利要求9所述的用于半导体激光器的检测系统，其特征在于，所述积分球为水冷式积分球。