[发明专利]岛蚀刻的过滤通道在审
| 申请号： | 201380080616.8 | 申请日： | 2013-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN105682769A | 公开（公告）日： | 2016-06-15 |
| 发明（设计）人： | 罗格·A·麦凯;帕特里克·W·萨迪克 | 申请（专利权）人： | 惠普发展公司;有限责任合伙企业 |
| 主分类号： | B01D39/14 | 分类号： | B01D39/14;B01D67/00;B01D69/02 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 宋颖娉;康泉 |
| 地址： | 美国德*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种方法包括：在衬底上形成蚀刻岛，并将具有蚀刻岛的衬底暴露至与蚀刻岛反应的溶液，以在衬底中形成互连孔隙的过滤通道。过滤通道具有进入衬底的入口和离开衬底的出口。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 过滤 通道 | ||
【主权项】：
一种方法，包括：在衬底上形成蚀刻岛；以及将具有蚀刻岛的所述衬底暴露至与所述蚀刻岛反应的溶液，以在所述衬底中形成互连孔隙的过滤通道，所述过滤通道具有进入所述衬底的入口和离开所述衬底的出口。
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